基于CAN总线的洁净室控制系统设计与开发.PDF

王长龙 王慧锋 （华东理工大学，上海 200237） 摘 要 研究 CAN 总线技术在洁净室控制系统中的应用，介绍了 CAN 总线及 CANopen 协议的特点，并给 出了洁净室控制系统的解决方案。从现场测试结果看，系统具有较好的稳定性和高精度的温度控制，满足半 导体行业的生产要求。 关键词 现场总线 洁净室 CANopen FFU Abstract This paper studies the application of CANbus technology in cleanroom control system ，introduces features of the CANbus and CANopen protocol and gives the solution of cleanroom control system.. According to the testing result on the site, the system offers high stability and accurate temperature control, which satisfie the requirements of semiconductor production. Keywords Fieledbus Cleanroom CANopen FFU 0 引言 半导体工业洁净室以其高标准著称，常常成为整个洁净室技术发展的标志。洁净室技术 的目的是保护制造的产品，同时也保护生产工艺过程不受到甚至是最小程度的污染。要限制 生产过程中释放出的微粒，又要把微粒立即排除掉。这过程综合了工艺、建筑、装饰、给排 水、空气净化、暖通、空调、自动控制等多方面的技术。其中，FFU （Fan Filter Unit “风机 过滤单元”）作为一种净化设备，目前在各种洁净工程中起到了关键的作用，并得到了广泛 的应用。 1 系统设计方案 本文需要解决的是Heidenhain 半导体制造一期工程控制系统中洁净室内的温度和空气洁 净度控制问题。 该控制系统由冷水系统、热水系统、新风系统、排风系统、空气压缩系统、喷淋系统、 办公室区空调控制系统、洁净室生产区控制系统等构成。由于整个系统比较庞大，因此本文 着重介绍关键的洁净室控制系统。根据该厂半导体生产工艺要求，洁净室温度控制精度要求 达到 20 ±0.05℃，空气洁净度要求达到一万级，即每立方米空气中含粒径≥0.5μm 的尘埃数量 小于 1 万个。 为此，该洁净室控制系统由底层的控制和顶层的监控两大部分组成，如图 1 所示。 1.1 控制层系统结构及配置 系统采用了基于 Profibus-DP 和 CAN 总线的控制方案，其中温度信号的采集和 FFU 控制 系统的实现都是基于 CAN 总线实现的。现场控制器选用 SIEMENS 公司的 S7 300 PLC，通 过工业以太网把所有的现场控制器连接到上层的服务器。 1 高精度温度控制是本系统设计的重点同时也是难点。本系统在洁净室顶棚安装 Delphin 远程 I/O 模块，其精度达到 0.001K 。各远程模块采集到的数据通过CAN 总线传输到 Delphin PLC 中。该控制器带有Profibus-DP 接口，通过 Profibus-DP 总线可以实现与 SIEMENS 控制 器的直接通信。Delphin 远程 I/O 模块作为 CAN 总线的从站，Delphin PLC 作为 CAN 总线 的主站。 温度传感器 PT1000 采集到的信号送给现场的 Delphin 模块，经 CAN 总线传输到Delphin PLC 中，再经Profibus-DP 总线送到 S7 300 主控制器中，主控制器根据