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洁净室及厂务系统
2017/3/2
Contents
潔淨室空調系統
製冷與供熱系統
給水及冷卻水系統
一般排氣、集塵與化學排氣系統
國立台北科技大學潔淨技術研究中心
C/R and Facility Engineering Design, 2010/11, pg-2
潔淨室空調系統
國立台北科技大學潔淨技術研究中心
C/R and Facility Engineering Design, 2010/11, pg-3
高科技產業製造廠房特色
What is a wafer FAB? It is A very big, clean facility . . .
Clean room space:
11,182 m2 x 3.5m (H)
air cleanliness ISO 6 Class
. . . that fabricates very small chips on large silicon wafers
Hair = 80,000 nm dia
Dynamic Random 2 mm
Access Memory
(DRAM) Wafer
2 mm
Gate = 100 nm dia
DNA = 2 nm dia
Atom = 0.1 nm dia
國立台北科技大學潔淨技術研究中心
C/R and Facility Engineering Design, 2010/11, pg-4
1
2017/3/2
廠務設施架構
純水系統
局部排放廢
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