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真空蒸发法制备多晶薄膜研究-无机材料学报
第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 ,
年 月 ,
一 一
文章编号 一
真 空蒸发法制备 多 晶薄膜研 究
李 玉 红 , 张 弘 , 李振 生 , 李丹 民 , , 贺德衍
兰 州大 学物 理 科 学 与技 术 学院 , 兰 州 兰 州 物 理 所 , 兰 州
、
摘 要 用真 空蒸发法在玻璃衬底 上制备 了 多晶薄膜 , 对样 品的微结构 、 表面形貌 化
学组分及 电阻率进行 了测试分析 结果表 明, 样 品具有 良好 的多 晶结构 , 并沿六角密堆积 结构
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