afm／mfm操作步骤.doc

AFM／MFM 操作步驟： 裝探針 將探針放入older中，靠一邊對齊夾具壓上時要維持探針水平※MFM探針裝入Holder後，需要「倒置」在磁鐵座上約三～五分鐘。 將裝進調整雷射光點至beam上光點形成半月形或三點，調整ectector位置到中央按音叉鈕uto tune」，調出探針頻率※MFM探針掃頻範圍請設定在0～100 kHz。（MFM探針共振頻率通常約在70 kHz左右） Drive amplitude建議值為100mV以下，若Drive值過大，則重新調整探針。 左邊螢幕上的RMS Ampl值會再0.78V左右。 若有動到探針座上的任何鈕，務必要重新做一次Auto Tune。 放試片為透明試片聚焦 若找不到探針，檢查燈源（Illumination值為100）是否正確，並利用Zoom來找到探針。 滾輪使用方式如右: 直接移動滾輪可控制X-Y方向，若按住Z-axis、Focus可移動Z軸方向。按住Speed可加快移動速度。 探針聚焦 按黃色鈕，自動 移到AFM機台上之顯微鏡上的X-Y方向旋鈕，使 “+” 對至探針2/3位置 點選OK，回到主畫面。 表面聚焦 使用滾輪水平移動到容易聚焦的位置，例如雜點、試片邊緣，接著按著Z軸不放，調整滾輪，聚焦到表面（找到第二次模糊的點，然後退回清晰的點）。Z軸移動的反應會較遲鈍，不要移動太快。 水平移動到要測量的位置。 下針將Scan Controls視窗內設定掃描範圍及其他設定。 Feedback Controls視窗內設定訊號參數，Channel 1視窗內設定樣品高度。 下針、測量 點擊下針鈕，機台開始下針；完成後，螢幕下方Moter數值要在80 ~ 120 μm左右。 點選頗面掃圖鈕。 將Scan Controls：Slow scan axis選擇Disabled，並在Feedback Controls：Setpoint欄位上，按鍵盤左鍵三次，然後再慢慢按下（一般約在0.3 ~ 0.4 V），調整到Trace與Retrace訊號越接近越好。 將Scan Controls：Slow scan axis選擇Enabled，點選眼睛鈕回到俯視畫面。 調整Scan Controls：Scan angle，並選擇往上、往下掃瞄鈕（可暫時調整Scan Controls：Lines以加快速度）。 在正式掃瞄完成前，點選相機按鈕，可儲存該次掃描結果（螢幕下方會顯示Capture: On，存好了會顯示Done）。 掃描技巧：可先掃瞄大範圍找到位置，然後再縮小。步驟：大範圍掃瞄好以後，使用左螢幕上方的「Zoom in」選擇精確掃描範圍，然後點選Excute。 MFM掃描模式： AFM掃描圖形穩定以後，開啟Channel 2（選擇Phase模式）。 Interleave Mode選項中，選擇Lift模式，並把Start, Scan height設定在50 nm。 調整deg大小，讓圖形呈現最佳狀態。 結束掃描 點選上針紐 點選Stage→Load New Sample，載台會自動退出。 將設定參數調回預設值，燈源亮度調回0。※MFM掃描完成以後，記得把掃頻範圍調整回100～500 kHz。 資料分析 點選右螢幕右上方按鈕 ，選擇剛才儲存的檔案。 選擇3D顯示，可調整光源位置及色階。 點選右螢幕上方「量尺」按鈕，然後選擇左螢幕右上方Crusor選項，並用Marker（有三組）來選擇計算位置。 黃建喨學長 0931338231, (03)5913523 無塵室12845明芳學姐 (03)5918335 ←初始設定為3～5μm（最大掃描範圍為20μm） ←Rate和Velocity為相依變化。Rate最大值0.8Hz，Velocity最大值3μm/s ←掃描圖形長寬比 ←掃描角度（建議值為90） ←橫向與縱向解析度 ←縱向移動設定（Enable: 有移動掃描 Disable: 固定橫線掃描）