mems微执行器平板运动稳定性研究 research on the movement stability of the plate in the mems microactuator.pdfVIP

MEMS传感器 MEMSand MEMS微执行器平板运动稳定性研究 伍文昌，鲍景富，杜亦佳，涂 程 (电子科技大学电子工程学院，成都611731) 摘要：在MEMS静电执行器设计中，由于吸合效应的存在，导致微执行器调节范围受到限制。 首先，对微执行器吸合效应产生的原因及其影响进行了分析与阐述。然后，针对吸合效应所带来 的问题，给出了多种解决方法，以及与这些方法相关的技术进展。最后，对这些方法的性能及优 缺点进行了总结。这些解决MEMS微执行器吸合效应的方法分为三种：利用反馈方法扩展执行 器稳定范围；通过特殊的结构设计扩展执行器稳定范围；通过改变微执行器工作环境扩展执行器 的稳定范围。通过对这三种方法的阐述，进一步加深了对吸合效应问题的理解，为今后的研究奠 定了基础。 关键词：微机电系统(MEMS)；静电微执行器；串联反馈；吸合效应；稳定范围 文献标识码：A文章编号：1671—4776(2010)12—0046—07 中图分类号：TH703 ResearchontheMovementofthePlateinthe Stability MEMSMicroactuator Wu Wenchang，BaoJingfu，Du Cheng Yijia，Tu (SchoolElectronic ElectronicScienceand China， of Engineering，Universityof Technologyof 611731，China) Chengdu the oftheMEMSelectrostatic ofthemicro Abstract：In actuator，the design adjustingrange actuatorislimitedduetOtheexistenceofthe effect．Firstof effectcausesofthe pull—in all，the microactuatoranditsinfluencewere and tothe analyzedexpounded．Then，accordingproblems theeffectofthemicroactuator，aofsolutionswere wellasthe by variety presented，as brought relatedtechnical ofthese anddisad— progress solutions．Finally，theperformances，advantages ofthesesolutionsweresummarized．ThesesolutionsoftheeffectfortheMEMSmicro vantages three the actuatorswereclassifiedinto kindsto oft