pi参数自整定扫描探针显微镜控制器的设计 design of an spm controller with self-adjusting pi parameters.pdfVIP

第2期 微细加工技术 №．2 2008年4月 MICROFABRlCATl0NTECHNOLOGY Apr．-2008 文章编号：1003．8213(2008)02．0001．04 PI参数自整定扫描探针显微镜控制器的设计 侯锡立1，-，靳鹏云1 (1．中国科学院电工研究所微纳加工研究部，北京100080；2．中国科学院研究生院，北京l00039) 摘要：为了解决传统扫描探针显微镜(SPM)控制器中参数难以设定的难题，提出了一种SPM的PI 参数自整定控制器的设计，并给出了控制器的硬件结构和软件设计。该控制器基于DSP，通过引 入扫描式参数优化算法来实现。结果表明，该控制器能自动完成PI参数的测算，并给出最优的PI 参数，提高了sPM扫描图像的质量。 关键词：PI参数自整定控制器；扫描探针显微镜；DSP 中图分类号：TP2l 文献标识码：A 1 引言 数整定存在的问题。 force 以原子力显微镜(atomicmicroscope， 2工作原理 AFM)和扫描隧道显微镜(scanningtunneling microscoDe，sTM)…为代表的扫描探针显微镜 microscope，SPM)【2J是纳米技术发 在PID控制中，由于微分项敏感于噪声，PID反 (scanningprobe 展的重要基础，SPM是一系列利用特殊探针和样品 馈控制系统往往忽略微分项，实际上是PI控制，只 之间不同相互作用来成像的仪器，由于探针本身测 量相互作用的范围有限，在测量表面相互作用变化 制器包含两个关键模块：一个是PI参数自寻优模 幅度较大的样品时，SPM需要一套高度反馈控制技 块，另一个是PI控制模块。两个模块在闭环上的连 接是通过软开关来切换，即系统正常工作前，开关打 术。传统sPM中的扫描控制系统大多仍采用PID 控制技术，但反馈控制系统的PID参数是由操作者 向白寻优模块，由自寻优模块进行PI参数寻优，并 根据自己的经验和对于图像好坏的判断来设定的， 将选优的结果KP和K。传递给后者；系统正常工作 这就要求操作者具有相当的经验。这里提出一种新 时，开关打向PI控制模块，由PI控制模块执行控制 型的PI参数(比例系数KP、积分系数KI)自整定功能。PI参数自整定sPM控制器结构如图1所示。 定一 眦影 ／开 ^／DH信号处理H测景 图l PI参数自整定SPM控制器结构图 收稿日期：2007一ll一20；修订日期：2007．12．02 作者简介：侯锡立(1982一)，男，云南曲靖人，硕士，主要从事嵌入式系统研究；靳鹏云(1970一)，女，河北保定人，副研究员， 硕士生导师，主要从事微纳加工工艺研究。 万方数据 2 微细加工技术 2008年 PI参数自整定SPM控制器的实现得益于扫描 式参数优化算法(scanningparametersoptimization， 刊电源模块 sPO)的引入，该算法不需要知道系统模型，且自动I计算机 化程度高，是PI参数自整定sPM控制器反馈控制 O 刊帅转换模块 算法的核心。其中PI参数自寻优模块的工作流程 I DsP 系 具体分为以下几个步骤：(1)确定采样周期；(2)确 ∞统 sPM探头