tft-lcd面板化学蚀刻薄化研究及产品可靠性分析 tft-lcds thin ning technology and reliability of product.pdfVIP

姜明俊等：17r-I_E；D面板化学蚀刻薄化研究及产品可靠性分析 文章编号：1006-6268(2009)05--0035--04 TFT—LC 技 D面板化学蚀刻薄化 术 交 流 研究及产品可靠性分析 姜明俊，尚进，李荣玉 (上海交通大学电子信息与电气工程学院，上海200240) 摘 要：以化学蚀刻薄化技术为课题，介绍了化学蚀刻的原理、方式；TFT-LCD液晶面板经过 HF溶液化学蚀刻后，原来的单片玻璃厚度从o．7mm减薄至0．5mm厚度，薄化后的液晶面板经 后段生产组装成LCM模块。经过各项可靠性分析来验证产品可能出现的问题，为TFT-LCD 生产中的化学蚀刻薄化技术提供参考。文章主要探讨了TFT-LCD薄板化生产，包括化学蚀刻 方式、产品的性质，产品的可靠性项目等。 关键词：化学蚀刻：液晶面板；薄板化 中图分类号：TNl41．9 文献标识码：B TFT-LCD7SThin and ofProduct 7ningTechnologyReliability JIANG Jin，LI Ming-jMR，SHANGRong-yu ofElectronic Jiao (1．Department Engineering，ShanghaiTong University，Shanghai200240) Abstract：ThisasummaⅣresearchonthechemical papergive etching the andmethodofchemical thicknessisslimmedfrom principle etching．TFT-LCDpanel。s 0．7mmto0．5mmHFchemical the testand by etching．Withproductreliability analysis，give the toTFT—LCD with reference chemical production etchingtechnology．Themajor commentinthe isTFT—LCD aboutchemical of paper slimmingproduction etching，figure of etc． product，reliabilityproduct Keywords：chemicaletching；LCDpanel；thin。ning 引言 随着LCD技