tft-lcd生产工艺环境 environment of tft-lcd manufacturing.pdfVIP

孙士祥 ：T1一LCD生产工艺环境 。 一茂术交 文章编号：1006—6268(2011)09—0008—04 TFT—LCD生产工艺环境 ： 易呢 孙士祥 (南京信息职业技术学院，江苏南京 210036) 摘 要：文章介绍了TFT-LCD的生产工艺环境，主要阐述 了洁净室的管理和在洁净室的一些操作流 程。洁净室的洁净等级非常重要，它将直接影响到TFT-LCD生产的合格性。如果没有良好的洁净度等 级，那产品的成品率会大大地降低。对于洁净室的管理，必须要做到不带入、不产生和不积累任何的灰 尘，这样才可以保证产品生产的正常运行。 关键词 ：洁净室；静电；温度；湿度 ；污染 中图分类号 ：TN141．9 文献标识码 ：B EnvironmentofTFT_LCDManufacturing SUN Shi-xiang (NanjingCollegeofInformationTechnology，NanjingJiangsu210036，China) Abstract：ThispaperintroducestheproductiontechnologyofTFT-LCDenvironment，mainly expoundsthecleanroom managementandsomecleanroom operationflow，cleanroom clean levelisveryimportant，itwoulddirectlyaffectTFT—LCDtheproductionofpropersex，ifyou dont‘havegoodcleanlinesslevel，theyieldoftheproductwillgreatlyreduce，forcleanroom management，musttodonotinto，donotproduceanydustaccumulatedandnot．SOthatitcan ensurethattheproductSproductioninnormaloperation． Keywords：cleanroom；staticelectricity；temperature；humidity；pollution 引 目 室有严格控制 的工作环境 ，包含温度 、湿度 、静 电 破坏 、微粒子 、化学污染 、电磁场 、氧气与震动 ，皆 液 晶显示器件 是大量现代科 学技术成果的结 为其控制的环境因子。符合标准的洁净室是制造 晶，现 已成为平板显示器 的主流 。然而 ，TFT—LCD 优质 TFT—LCD产品的保证。 生产制造过程尤为苛刻 ，污染是可能将 TFT—LCD 生产扼杀于摇篮的首要 问题之一。液 晶工业起步 1 TFT—LCD生产对工艺环境要求 于航空工业发展而来 的洁净室技术 ，在一个污染 环境 中制成 的器件会 引起许多 问题 ，污染会改变 1．1 影响 因素 器件表面 的洁净度 ，并且造成 凹陷的表面。洁净 (1)液晶显示器是 由于屏 内的液晶材料在一 8 现代显示AdvancedDisplay Sep．2011，总第128期 收稿 曰期 ：20l1一O7—07 万方数据 孙士祥 ：TfTr