离子束表面技术.pptVIP

微动磨损是航空航天领域诸多关键零部件急需克服的问题，固体润滑涂层是解决微动损伤的主要防护措施之一。 太阳能光伏发电是解决经济发展与能源瓶颈矛盾的方法之一，在新能源中占有重要地位。传统的太阳能电池主要是以硅材料为主的半导体材料，其工业光电转换效率最高１５％。近年来，薄膜太阳能电池技术发展很快，先后出现了非晶硅薄膜太阳能电池、多晶硅薄膜太阳能电池、化合物薄膜太阳能电池、染料敏化太阳能电池、有机小分子和聚合物太阳能电池。非晶硅薄膜太阳能电池已大规模工业生产，但转换效率低，效率衰减快，部分研究者利用微晶硅代替非晶硅，提高了其稳定化效率；多晶硅薄膜太阳能电池也进入工业生产阶段，受工艺条件影响较大，能够保持高性能和稳定性。目前工业生产市场非晶硅和多晶硅并存竞争。 离子束表面工程技术  分类离子束表面工程技术的 应用  发展 离子束表面工程技术的分类 离子注入技术包括：常规离子注入技术，等离子体源离子注入技术，等离子体基离子混合技术； 离子束沉积镀膜技术包括：离子镀技术，溅射镀膜技术和离子束辅助沉积技术； 离子束复合强化技术包括：蒸镀＋离子注入，离子镀＋离子注入，渗氮＋等离子体源离子注入，离子氮化＋离子镀以及离子镀＋离子束增强沉积等。 离子束表面工程技术的应用 替代传统的电镀技术 航空航天材料的表面改性 太阳能材料的表面改性 生物医学材料的表面改性 生物体的改性 替代传统的电镀技术 离子束表面工程技术的应用 问题：传统电镀工艺Cr的污染问题。 装饰工艺：离子束沉积铬、氮化钛和氮化钛铝等； 以发动机活塞环涂层为例，研究表明CrN系复合膜与激光淬火加离子渗流的方法复合处理完全可以取代传统电镀铬方法； 在高端汽车灯具镀膜设备及工艺方面实现了产业化，高中档市场占有率超过了65.9％； 汽车轮毂表面的绿色镀膜技术，有效地解决了因欧盟环保禁令的生效，高档汽车铝合金（镁合金）轮毂传统电镀铬的替代技术。 2. 航空航天材料的表面改性 问题： 微动磨损 航空航天领域应用的精密零部件尺寸要求高，由于离子束表面工程技术几乎不改变零部件尺寸，制备涂层种类多，工艺灵活，具有突出优势，成为制备固体润滑涂层的主要技术。 离子束表面工程技术随着我国空间技术迅速发展，目前已开发出多种适用于空间环境的高性能固体润滑涂层，如TiAgN纳米复合膜、MoS2-Au-Re三元复合膜以及梯度多层Ni-Cu-Ag复合膜和多层无机－金属纳米复合膜。 离子束表面工程技术的应用 3. 太阳能材料的表面改性 问题：有机太阳能薄膜电池光电转换效率低于硅材料太阳 能电池，限制了有机太阳能薄膜电池的商业化. 利用纳米金属颗粒在光照下的表面等离子体共振效应可提高有机太阳能薄膜电池的光吸收效率。如采用蒸镀和磁控溅射制备银纳米晶，利用金属纳米银颗粒产生的表面等离子体增强效应，提高了太阳能电池对光的吸收效率和转换效率。 离子束表面工程技术的应用 4. 生物医学材料的表面改性 问题：随着技术的进步和医学问题的复杂化，目前使用的传统生物材料（如金属、陶瓷、高分子等）逐渐显露出了某些不足，表现在与宿主原有组织结合后，很难做到性能上的完全匹配，不能完全满足临床应用中对耐磨性、耐蚀性、生物相容性的要求等。离子束表面处理技术代价小、耗时少，在制备综合性能良好的生物医用材料方面优势显著。其中，离子注入技术以其独有的改性特点脱颖而出，应用日益广泛，成为广大科研工作者研究的焦点。 离子束表面工程技术的应用 4. 生物医学材料的表面改性 注入离子的复合化。等离子体浸没离子注入与沉积的方式对CoCrMo合金进行了低压高频／等离子体氮化处理和类金刚石薄膜的沉积，发现复合处理显著提高了CoCrMo的表面性能。 注入离子的多样化。Zn离子注入镁钙合金，铝、锆 及 钛 离 子 注 入AZ91表面，Ａｇ注入到聚乙烯表面，改善了基体材料表面的耐蚀、生物相溶和力学性能。 改性层的增厚化。可显著提高基体的生物相容性能。生物涂层表面涂层可以降低表面自由能，中和材料表面电荷，并且不改变原材料的形状和体积。这类生物涂层包括Ti基涂层（TiN，TiO2，TiNxOy）及 其合金涂层（添加Zr、Nb、P等合金元素）；金刚石薄膜，类金刚石碳膜或者非晶碳膜等碳素材料薄膜；以及DLC与Ti基涂层复合膜等。 离子束表面工程技术的应用 5. 生物体的改性 加速后的重离子注入到生物体后，产生一定的静止质量，能够使质量、动量、能量和电荷共同作用于生物体，且注入离子同时还具有高能量密度和尖锐的电离峰。不同的质量数、电荷数和能量又可根据需要进行组合，它将会使生物细胞乃至生物大分子的生理、生