波耳兹曼传输方程和分子动力学对铜薄膜热导率模拟的分析研究及其比较.pdfVIP

摘 要 热导率是体材料的一个固有特性，而对于薄膜材料的热导率却是一个几 何参数一厚度的函数，这就是所谓的微尺度效应。本文采用数值模拟的方法， 计算了铜薄膜的热导率。 波耳兹曼传输方程(BTE)是描述电子输运的基本方程。对于金属薄膜材 料，当外加的温度梯度平行于薄膜方向时，热能的交换仅由自由电子传输完 成的。文中介绍了用波耳兹曼传输方程计算了单晶、无缺陷金属薄膜的横向 热导率。 除了波耳兹曼传输方程以外，近几年来分子动力学方法在研究微尺度热 物性方面得到了广泛的重视。本文采用两种分子动力学(MD)方法研究不 同厚度和温度下铜薄膜的热导率。平衡态分子动力学(EMD)方法用来研究厚 研究厚度在16．70rim之间的热导率。并将结果和实验做了比较。 最后，本文将波耳兹曼传输方程和分子动力学方法就铜薄膜热导率的计 算结果作了研究比较。 [关键词]分子动力学：波耳兹曼传输方程；薄膜；热导率；微尺度热传输 ABSTRACT isnottheintrinsicmateriaI as Thethermal