管板式大功率横流co2激光横模测量及数值模拟 measurement and numerical simulation of transverse modes in high power transverse-flow co2 laser with tube-plate electrodes.pdfVIP

第25卷第2期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．25。No．2 2013年2月 HIGHPOWERLASERANDPARTICLEBEAMS Feb．，2013 文章编号： 1001—4322(2013)02-0319-06 管板式大功率横流C02激光横模测量及数值模拟。 许周速1， 程 成1， 姚建华2 (1．浙江工业大学光电子智能化技术研究所，杭州310023；2．浙江工业大学激光加工技术工程研究中心，杭州310023) 摘要： 为了提高激光稳定性和激光加工质量，实验测量了大功率横流C0：激光横模，并理论分析了横 模形成机理。针对大功率横流CO：激光器管板式电极结构，由麦克斯韦方程给出电场的横向分布，并通过数 值计算得到了激光强度的横向分布。实验结果与数值模拟得到的激光能量分布基本一致。结果表明，在给定 放电电压条件下，电极结构和气体流动速率决定了激光横模峰值大小，激光峰值的横向位置取决于气体流动的 速率。 关键词： 大功率横流COz激光；横模测量； 激光能量分布； 电场分布； 激光动力学； 气体流速 中图分类号：TN248．2 文献标志码： A doi：10．3788／HPLP0319 直流放电激励的横流CO：激光器由于功率大、结构简单、效率高，目前已大量应用在工业加工以及其他领 域中。这种激光器在长时间运转后激光模式会逐渐蜕变，光斑能量分布很不均匀，同时激光功率也会不断下降 甚至不能振荡，从而使得激光加工质量不一致和不稳定[1。2]。目前，对于大功率横流CO：激光，已有许多报道从 不同角度研究了模式蜕变的形成机理，例如：气体成分的影响[3]、气体流动和温度分布的影响Ⅲ、管板式电极结 构的影响[5]、激光横模的实验测量[6。71等。这些工作对模式蜕变和功率下降给出了合理的解释并提出了一些改 善途径，但结合放电电极以及电场形态，通过激光动力学方程来深入研究CO。激光横模则少有报道。本文基 于大功率横流COz激光器中管板式电极结构和激光动力学过程，通过数值计算，得到了激光增益系数和激光 功率的横向分布，并进一步讨论了电极结构和气体流速等对激光能量分布的影响。 l 管板式放电电极排列及电场强度分布 1．1电极结构 CO：的激光动力学过程与电极结构及电场形态紧密相关，不同的电极结构有不同的电场形态，因而对激光 横模也有不同的影响。 典型的大功率横流CO。激光器的电极排列如图1所示。阴极铜管处于气流上方，阳极铜块置于气流下方， 嵌入放电区下面的水泥板内并与水泥板成一平面，采用直流放电技术，放电电压为稳恒高压(氓≈3000V)。 谐振腔由前后两个串接腔组成，放电区横截面图如图1(b)所示。图中z表示气流方向，了表示垂直于阳极电 (后腔)的电极结构，两腔在z轴上前后相连，沿光轴左右对称。 1．2电场强度分布 y)。在xy平面上，两个阴极圆铜管和一些阳极铜板构一个三角形的二维放电区域，激光沿z方向。在放电区 中，电势可近似表示为 脬+乎一。 ㈩ IUJ…d。一Uo，UI。。。hod。一0 *收稿日期：2012-05—21；修订日期：2012—09—14 作者简介：许周速(1981一)，男，助理研究员，主要从事气体激光器、纳米材料等方面的研究；xuzhousu@zjut．edu．ca。 万方数据 320 强 激 光 与 粒 子 束 第25卷 triggerpinsgaS肋Ⅷ section (a)resonantcavity (b)CROSSofdischargeregton Schematicofelectrode Fig．1 diagram