硅基双轴谐振式微机械加速度计的设计与仿真 design and simulation of si-based dual-axis micromechanical resonant accelerometer.pdfVIP

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2017-08-31 发布于上海
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硅基双轴谐振式微机械加速度计的设计与仿真 design and simulation of si-based dual-axis micromechanical resonant accelerometer.pdf

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硅基双轴谐振式微机械加速度计的设计与仿真 design and simulation of si-based dual-axis micromechanical resonant accelerometer

MEMS器件与技术 MEMS DeviceTechnology 硅基双轴谐振式微机械加速度计的设计与仿真任杰，樊尚春 (北京航空航天大学仪器学院，北京100083) 摘要：分析了谐振式微机械加速度计的工作机理，提出了一种新颖的硅基双轴谐振式微机械加速度计的结构形式。该结构采用一个质量块敏感两个正交方向的加速度，设计的弹性支撑结构巧妙地实现了正交方向的解耦，且结构稳定性好。用MATLAB软件分析了结构参数对性能指标的影响．用ISIGHT软件优化出结构参数，用ANSYS仿真软件对结构进行了静态分析和模态分析，验证了提出结构的设计思想和优化参数的可行性，设计了可实现的工艺流程。关键词：微机电系统；微机械加速度计；谐振器；有限元分析 of andSimulationSi-BasedDual·Axis Design MicromechanicalResonantAcceleromc!ter REN Jie，FAN Shang-chun 100083，China) Science＆Opw-Electronic5脚e咖，BeltingOnivenity，Beijing (Sch,,d矿Instrument workmechanismoftheSi．based re$onantaceeleremeterwa8dis- Abstract：The mieromaehlning one Was newdual．axisresonantaccelerometerstructurewith mass cussed．anda proof presented． Anovel strectureWas to thetwo accelerations elasticitystrutting designeddecouple orthogonal onacce]eronmter with structural betweenstructuredimensions per- high stability．Therelationship fonnaneeWasmodelled structure were ISIGHT，and MATLAB，the optimizedby by parameters WasfimuhtedANSYS．The results themechanical ofthestructure performance using simulating