试验方法与分析.PDF

第三章 實驗方法與分析 3.1 實驗流程 利用 CF 、CF /O 等氣體對整片奈米碳管以及導線孔(via)中成長 4 4 2 之奈米碳管進行後處理。待催化劑處理與奈米碳管，完成最佳成長參 數，再將成長後之奈米碳管分別施以初始條件設定的 CF 、CF /O 氣 4 4 2 體作電漿後處理，並使用包括掃描式電子顯微鏡 (SEM) 、原子力顯微鏡 (AFM) 、穿透式電子顯微鏡(TEM) 、傅利葉轉換紅外線光譜儀(FTIR) 與、X 光光電子能譜儀 (XPS)及熱吸附性光譜儀 (TDS) 等儀器來做物性 與化學鍵結的分析研究。 相關使用不同儀器所分析碳管 ，被不同氣體與不同功率之電漿處 理後；整體架構顯然的迫使原始形貌轉變為破壞後的情形，實驗期間 反覆試驗，並嘗試利用彙整的數據當中；得到最佳參數條件並套用於 正在合成的結構中成長奈米碳管，期望透過氣體與電漿的作用可以有 效的達到削短奈米碳管，此次實驗以 X 光光電子能譜儀 (XPS) ；熱吸 附性光譜儀 (TDS) ，兩個儀器測試分析為主。並將所得數據資料經由圖 表示意出。經由線上數據分析的網站進一步確認，元素形態與化學特 性，本研究整個實驗規劃流程如圖 3.1所示。 27 3.2 實驗與分析儀器 3.2.1 實驗材料 (1)靶材 (target) ：鎳(Nickel)靶材，元素成分 : 99.99% (2)基材(substrate) ：P型 (100)矽晶圓基板 (3)通入氣體： H (氫氣 ): 99.99% 、CH 甲烷( ): 99.99% 2 4 (4)觸媒： Ni(Nickel) ：99.99% (5)緩衝層：Ni ，TiN ，TaN 3.2.2 實驗儀器 3.2.2-1 微波電漿化學氣相沉積系統 (MP-CVD) 1.型號： ASTeX PDS-17 System 2.儀器功能：主要是利用高溫下，將含碳氣體經由催化裂解為碳原子、 H 或其他氣體，用以合成奈米碳管。 2 3.MP-CVD模式 (Microwave-Plasma, 微波電漿 ) (1)成長材料：Diamond film, Nanotube (2)晶片尺寸： 4吋以下 (3)製程氣體：H , Ar, O , N , CH 2 2 2 4 28 3.2.3 分析儀器 3.2.3-1 掃描式電子顯微鏡 (SEM) 掃描式電子顯微鏡是以電子束 對試片做掃描，主要的偵測信號為 二次電子(secondary electrons) 、反射電子(backscattered electrons) 、穿透 電子 (transmitted electron) 等，儀器如圖3.2所示。 1.型號與規格：參照表 3.1 2.儀器功能：主要用來觀察試片表面或縱切面形貌 (topography)影像觀 察及其他電性性質分析。 3.2.3-2 穿透式電子顯微鏡(TEM) [60] 穿透式電子顯微鏡具有極高的穿透能力及高解析度，在材料科學 研究上已成為極有效的工具之一。由於具備超高解像能力，在一般的 影像觀察上即比其他分析工具優越許多，而依實際操作時可放大的倍 率範圍來看，穿透式電子顯微鏡也具有相當大的彈性 (從 50 X 到 1,500,000 X)依電子與物質作用所產生的訊號，穿透式電子顯微鏡分析 主要偵測的資料可分為三種：穿透電子、彈性散射電子(Elastic Scattering Electron) 、X-ray(EDS) 等，儀器如圖3.3 。 29 1.型號與規格：參照表 3