非线性振动条件下估算谐振梁品质因数-清华大学学报.PDF

( ) / 清华大学学报 自然科学版 年 第 卷 第 期 ISSN１０００Ｇ００５４ ２０１６ ５６ １０ ６１８ / 　 ( ), , , CN１１Ｇ２２２３N 　JTsinhuaUniv SciTechnol ２０１６ Vol．５６ No．１０ １０５５Ｇ１０６０ g 非线性振动条件下估算谐振梁品质因数 , , 严 斌 刘云峰 董景新 　 　 　 ( , , ) 清华大学 精密仪器系 精密测试技术及仪器国家重点实验室 北京 １０００８４ : 摘 要 硅微谐振式加速度计在真空封装后出现非线性振 , 　 谐振器由于微尺寸效应 一般需要依靠一定的 , . 动 导致测量品质因数的常规方法失效 为了能对真空封装 . 真空环境才能良好工作 这类传感器要实现更高的 , . 的加速计进行精确监测 提出了一种品质因数测量方法 该 , 分辨率和更大的动态范围等 就需要获得更低的阻 , 方法基于谐振梁的非线性振动模型 通过将扫频数据按照 [ ] １２ 尼及更高的品质因数 .品质因数反映了器件封 , . 模型公式拟合得到品质因数 适用于非线性振动时的情况 , 装内部的真空度 其稳定性是传感器性能的重要影 , 利用谐振式加速度计进行实验 验证了该方法的一致性和 [] ３ 响因素 .美国Draer实验室研制的硅微谐振加 ５ p , . 准确性 测得加速度计品质因数均在 ２×１０ 以上 使用该 ５