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静电高级知识介绍 福州华映视讯有限公司 技术部制程课 许燕玲 你曾有触电的感觉吗？ 概论 静电危害研究 静电控制及空气电离原理 静电检测仪器基本配置及工作原理 ESD管理推动 结论 一、静电危害——品质与可靠性的问题 静电问题——污染及静电危害 污染物在带静电表层上的动力 积尘速度与尘埃大小 积尘速度的影响： 重力：颗粒越大，在重力的影响下，其积尘速度就越快； 扩散：颗粒越大，其扩散的速度就越慢； 静电：颗粒越大，其静电影响的积尘速度就越慢； 组合因素 污染研究——在CLASS 1 微型环境的200mm晶片 湿度对静电产生上的影响 相对湿度（RH）对表面积累电荷的性能产生直接影响;相对湿度越高，零部件储存电荷的时间就越短; 表面电荷减小（因为相对湿度增加）的方式可通过复合或传导，当相对湿度增加，空气的电导率也随之增加; 在高湿度环境中，物质表面具亲水性（Hygroscopicity），容易吸附空气中的水分，进而降低物质表面电阻，增加静电向大地散逸的速率。 静电放电的破坏 电子性静电问题通常发生在晶片上，零件上，电路板上及机台上等等。 静电放电能引起非常严重的失效，而潜伏性的缺陷更会带来很多的问题。 静电放电的代价，从一个器件至一片晶片甚至一个系统，会变得越来越大。 静电放电在半导体生产中的影响 FVD LED静电击伤影响 静电放电所产生的电磁干扰 静电放电能辐射出电磁波并对微处理器及测量工具产生感应。导致其无法正常运作，发出错误的指令，校准失误等等情况。 静电放电所产生的电磁干扰通过两种途径进入机台： （1）通过导线 （2）通过空气传播 ESD防护的意义 减少损失 提高产品品质及可靠性 提高生产效率 静电回报率达1：95以上 二、静电的产生及控制 摩擦生电 静电敏感度分类、测试 电离系统 摩擦生电 用于电子生产及无尘室中的很多材料因其绝缘特性而能长期保持很高的静电。 什么是静电敏感度？ 定义：为定量描述不同组件的相对敏感程度进行敏感度分类。 敏感层次分为多层次,是为制定先进的ＥＳＤ防护措施提供原始资料，这些措施用于对更敏感器件的广泛的防护。 敏感性测试 技术文献和失效分析资料表明，静电放电失效是由于一系列的、复杂的，相互关联的作用。一些影响静电放电敏感性的因素包括了静电放电电流、能量、放电时间、零件设计、制造技术和零件包装样式等。 能量敏感度器件的损坏： 是由于电流流过双极连接点、保护电阻器或金属氧化物半导体的保护晶体管。 电压敏感器件的损坏： 是由于电压超过了击穿电压。 电子器件的ESD敏感度测试模式有以下几种： 1、人体模型（HBM） 2、机器模型（MM） 3、带电器件模型（CDM） 4、人体金属模型（场增强模型） 5、其它（场感应模型、电容耦合模型） 人体模型– 静电放电情况The Human Body Model (HBM) 人体模型– 静电放电情况The Human Body Model (HBM) 依照人体模型标准所作的模型，静电放电损坏来源于带电的人体。 这个测试模型表示，放电从人体的指尖传到器件上的导电接头。 该模型通过一个开关组件，将充了电的100PF电容器，在待测器件和与之相串联的一个1500 Ω电阻器上放电，意味着这个模型接近一个电流源。 放电本身是有2~3ns上升时间，和大约150ns脉冲宽度的双重指数信号波形。 人体模型放电电流波形 人体模型放电电压与峰值电流的关系 注：Ip是在电流波形检验过程中流过R的峰值电流，大约为： HBM敏感度分类 机器模型–静电放电情况MACHINE MODEL (MM) 机器模型–静电放电情况MACHINE MODEL (MM) 机器模型的损害主要来源是能量迅速地从一个被充电的导电体传输到器件的导电接头。 这个静电放电模型是200pF电容直接对500nH电感放电，没有串联电阻。 由于缺乏限制电流的串联电阻器，这个模型接近一个电压源。 放电时间本身具有5~8ns上升时间和大约80ns周期的正弦衰减波形。 MM电流 注：通过一根金属丝400V的静电放电波形。 MM敏感度分类 带电器件模型–静电放电情况Charged-Device Model (CDM) 带电器件模型–静电放电情况Charged-Device Model (CDM) 带电器件模型的损害主要来源是能量从一个带电器件迅速地释放。 该模型假定，当静电器件的导体电接头与具有不同电位的金属表面接触时，会发生迅速放电。 信号波形的上升时间经常是少于200微秒，整个过程可能发生少于2ns，放电时电流能达到几十安培的水平。