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维普资讯 代 电 子 材 料 曲喜新 (电子科寝夏 — 610054) |0 现代电子科学拄术主要是徼电子科学技术。与其紧密相连 电子科学技术-与它紧密相连的元器件是量子元器件和分子元 的．有代表性的电子元器件是集成化和平面化元器件，如半导 器件。 体大规模集成电路 (LSIC)、多芯片组件 (MCM)、膜式无源网 随着电子科学拄术的发展。电子材料已历经几代。现在与 路 (表面式或内埋式)等。前两者的加工精细度已达亚微米量 徼电子科学技术紧密相连的是现代电子材料。这其中主要是各 圾，称为亚微米技术；后者的膜厚多数也在亚微米级。 种薄膜材料 (见表 1)，其次才是各种厚膜材料和纤维材料 现在已经清楚显示出来 ．下一代的电子科学技术将是纳米 在表 l中tPzT和PLZT分别是锫钛酸铅和锫钛酸镧铅 表 l 常用的电子薄族村料 类 别 薄 膜 材 辩 超导薄膜 Nb，NbN。Nb3Sn，Nb；Ge，Nb3SiIL,~BaCuO系．yBaCuO系-BIS…CCO系，TIBaCacuO系等 一 导电薄膜 Au．AI，Cu Cr1Ni。Ti．Pt，Pd．M0．W；AI—Si。PtSi．M Si，C ¨C Au，Ti—C…NdA ； ZnO，In：o3tsno=+Tt|】2，Cd=SnO 电阻薄膜 Cr，1a，R ；NiCf SiCr．TiCr．TaAI。TaSi．ZrB：ITaN．TiN，TaAINISnO：。h O CrSiO． Cr—SiO：．AuSiO．Au—SiO 。TaA ：【O 半导电薄膜 Ge o,S盎 TTeMSiC,GaAs,GaPs,|lGHaN．AisZ．nO+’篓． 2 cdcdTcds’Ph 舟质薄膜 BNI，AIN．Si：N^；ZnSIBeO．AI203，SiO—SiO：，T102t硪02tZrO：tPbO-MgOtYu Tauc Nb：O5IBaTiO~，LiNbOa．PbTiO3．PLZTlPP—PS，PPS，PET。PVDF 绝缘薄膜 s}3N．．SiO，SiO：，AL0atTiO：，Ta蚰 ”P1 保护薄腰 SjN SiO，SiO：，PSG。BPSC-．P1 链 电薄嚷 BaTiO ，PbTiO3．PZT．PLZT 磁性薄膜 Ni，c0。NiCo·NiFe．NiMn，FeCo·7-FezOalRFetRCo(R为稀土金嚆元煮)lR3 sOl1． MFe2O．(M 为二价金再元索) 压电薄膜 ZnS，ZnO。AIN。LjNbOa。PZTIZn0一AlN， 0～“NbOa PVDF 热电薄膜 TGS，LiTa03，PhTiOatBaT{0a．PzT+PLZTlPVDF；Sr 1Nb：O6 光电薄膜 Si，InP．GaAs，CdTe，CdS，AI—Ga As；a-SilH Ge，R-Sn— sjC 电光薄膜 Zn0，GaAs．L；Nbo， 磁电薄睦 Ge．Sj．InSbtInAs，G．~As