对於CellGap影响最大为前端CF面板上之光阻间隙子PSPhoto.PPT

Photo-Spacer LCD工程 * * 指導教授:吳文端 教授 組員：高愷駿 方士育 494L0034 大綱 間隙物(Spacer)介紹 Photo Spacer必須具備特性 Photo-Spacer製程方法 Photo-Spacer製程參數 特性分析 參考資料 間隙物(Spacer) 保持玻璃基板與玻璃基板之間液晶的厚度均一性，其作 用是在防止因液晶厚度不均所產生顯示影像模糊之缺失。 傳統間隙物(Spacer) 主要是用來控制LCD面板兩片玻璃的晶胞間隙，而LCD面板的間隙均一性是由珠狀(Bead)間隙物的大小均一性及在面板的分佈位置來決定。 Photo-Spacer 為一種光反應性材料，即所謂的光阻材料，可依其對光反應機構不同，分為正型與負型光阻，均可適用於Photo -Spacer利用光微影製程(Photo lithography porcess)方法，直接將光阻材料塗佈在ITO玻璃基板上，經過曝光、顯影、烘烤等步驟得到所需厚度的基板間隙控制。 上圖為 傳統的Spacer圓狀(1)與長柱狀(2)間隙物 (1) (2) 間隙物 (Spacer)SEM照片 上圖為 間隙物與頭髮尺寸對照圖 Photo Spacer必須具備以下特性: 1. 適當的機械強度 機械強度不足會造成LCD面板強度不夠。 2. 對液晶分子不會造成污染 感光化合物主要是在曝光區因光化學作用產生酸或質子酸。 3. 膜厚的均一性 厚度可依據需求來選擇塗佈條件，或更改光阻材料組成，使其塗佈後得 到適當的厚度，來維持CELL均勻性。 4. 良好密著度 因直接貼合玻璃基板，防止外來因素造成位移，所以對玻璃的附著力需 ㄧ定要求。 5. 良好耐熱及耐化性 在曝後烤的過程中，酸或質子酸與高分子樹脂發生反應，使得曝光區和 非曝光區 與顯影液之溶解度不同而達到圖案轉移目的。 Photo-Spacer製程方法 Photo spacer製程分為塗佈、曝光、顯影、後烤、等步驟。 Photo-Spacer製程參數 由圖的LCD結構側視圖可知，對於Cell Gap 影響最大為前端CF 面板 上之光阻間隙子(PS，Photo Spacer)高度。而影響PS 高度之關鍵控 制製程參數為： 1.印刷速度(Coating Speed) 2.曝光能量(Exposure Energy) 3.固烤溫度(Oven Temp) LCD 結構側視圖 柱狀間隙子替換了傳統球狀間隙物，此種技術有著下列幾項優點 1.高對比度 2.減少因震動所產生球狀spacer對彩色濾光片的刮傷 3.均勻性佳 特性分析 高對比度 由於Bead Spacer 並非固著在基板上，因此，若對液晶顯示器的面板施 以壓力時(如手壓) ，則傳統球狀的Spacer會有位移情形，而液晶槽內的 液晶也會跟著流動，導致液晶槽厚度不均勻，進而造成顯示器面板亮光 不均或顏色改變等現象。 Spacer移動的傷害相對PS PS是直接貼合基版有較穩定的效果 球狀Spacer Photo-Spacer 減少因震動所產生球狀spacer對彩色濾光片的刮傷 球狀Spacer 均勻性佳 傳統型由於使用灑佈式珠狀材 ( Ball Spacer ) 製程，噴灑分佈密度極難做有效控制，會造成珠狀材密度不均而影響模組平坦性，進而影響整體畫質表現。 Photo-Spacer係利用光微影製程方法製作，使得曝光區和非曝光區與顯影液之溶解度不同而達到圖案轉移目的 ，故分佈密度位置可有效控制。 傳統球狀的Spacer Photo-Spacer Ball Spacer 製程叫難控制分佈 不佳影響透光率 灑佈Spacer的過程中，易產生靜電效應，造成Spacer容易聚集等問題 球狀Spacer顆粒尺寸不一或大小分佈不均，導致過小顆粒的Spacer如同粉塵般散佈在液晶槽內，將會影響產品品質。 Photo-Spacer為柱狀體，光穿透或遮蔽效果佳，液晶顯示面板製作過程中不需噴灑Spacer，亦不必擔心Spacer產生靜電及凝集等問題，製程自主性高。 參考資料 1.達興材料網站 /daxin/about.php?lang=big5 2.新世代彩色濾光片之發展趨勢 (半導體科技 NO.16, 2000/10)“林松香，李榮哲 /工研院材料所 光阻材料計劃 3.平面顯示器製程技 術助理教授 陳松德 4.跨領域科技教育平台_奈米工程概論 .tw/ntu_course/96_Content/nano/A/sec7/n_e_s7_ch3_3.html 5.和鑫光電 .tw