浅谈电化学机械复合抛光薄膜太阳能电池柔性不锈钢衬底.pdfVIP

第 24卷 第 2期 光学 精密工程 Vo1．24 No．2 2O16年 2月 OpticsandPrecisionEngineering Feb．2016 文章编号 1004—924X(2016)02—0343—07 电化学机械复合抛光薄膜太阳能电池柔性不锈钢衬底 张克华 ，石 栋，刘润之，肖志兰，程光明 (浙江师范大学精密机械研究所，浙江金华 321004) 摘要：设计了针对薄膜太阳能电池柔性不锈钢衬底的电化学机械复合抛光法 以满足其对表面粗糙度、光反射率和有害物 质扩散 的要求 。首先，设计并制造 了一种用于平面加工的复合阴极刀具 ，理论分析 了它的材料去除机理。然后 ，结合法 拉第原理和黏着摩擦理论分析了电化学腐蚀行为和摩擦力作用行为，解决了电化学腐蚀和机械去除钝化膜的匹配一致 性 问题 。最后 ，以5OmniX50nlm×0．3mm规格的304不锈钢为阳极工件 ，对提 出的