锁相放大器的工作原理和pn结载流子浓度.doc

实验2－2微弱信号检测技术 随着科学技术的发展，使测量技术得到日趋完善的发展，同时也提出更高要求。尤其是一些极端条件下的测量已成为现代认识自然的主要手段，由于微弱信号检测（weak signal detection）能测量传统观念认为不能测量的微弱量，所以才获得迅速的发展和普遍的重视，微弱信号检测已逐渐形成一门边缘学科学。锁相放大器（lock-in. Amplifier 简称LIA）就是检测淹没在噪声中的微弱信号的仪器，它可用于测量交流信号的幅度和相位，有极强的抑制干扰和噪声的能力，有极高的灵敏度，可测量毫微伏量级的微弱信号，自1962年美国PARC第一个相干检测的锁相放大器问世以来，锁相放大器有了迅速的发展，性能指标有了很大的提高，现已被广泛应用于科学技术的很多领域，本实验使用128A用电容电压法测量P-N结的杂质浓度分布和PN结电容，即是一个很好的应用实例。 一 实验原理 （一）PN结电容及杂质浓度分布 在半导体的设计和制造过程中，如何控制半导体内部的杂质浓度分布，从而达到对器件电学性能的要求，是半导体材料和器件的基本测量之一，本实验是用电容—电压法测量P-N结的杂质浓度分布，具有简单快捷，又不破坏样品的特点，是较常用的测量方法之一。它仅能反映P-N结轻掺杂一边的杂质分布。 P-N结是由P型和N半导体“接触”形成的，交界之处的杂质浓度可以是突变的，或是缓慢的，在结的界面处形成势垒区，也称空间电荷区，如（图2－2—1 a、b）所示。 P-N结外加电压时，势垒区的空间电荷数量将随外加电压变化，与电容器的作用相同，这种由势垒区电荷变化引起的电容称为势垒电容 另外，P-N结加正向偏压时，P区和N区的空穴和电子各 自对各自向对方发散，并能在对方（扩散区）形成一定的电荷积累，积累电荷的多少也随外加电压而变化，称为扩散电容 图2－2—1 突变结(a)和缓变结（b） 所以，P-N结的电容与一般电容不同，不是恒定不变的，要随外加电压的变化而变化。 利用P-N结势垒电容随外加电压变化这一特性可以制作变容二极管，并且利用P-N结电容随外加电压的变化规律可以非破坏性的测定其杂质浓度分布。 （二）锁相放大器工作原理： 锁相放大器的基本原理图如下： 图2－2－2 锁相放大器原理图 1、锁相放大器的基本工作原理 锁相放大器是采用相干技术制成的微弱信号检测仪器，其基本结构由信号通道、参考通道和相敏检波器等三部分组成。 （1）相干检测及相敏检波器 相关反映了两个函数由一定关系，如果两个函数的乘积对时间的积分不为零，则表明这两个函数相关。相关按概念分为自相关和互相关，微弱信号中一般采用抗干扰能力强的互相关检测。设信号加，为与被检信号同步的参考信号为被检信号和噪声的叠，二者的相关函数为 由于噪声和参考信号不相关，故,所以 锁相放大器通过直接实现计算相关函数来实现从噪声中检测到淹没信号。 。 锁相放大器的核心部分是相敏检波器（phase－sensitive detector，简称PSD），也有称它为混频器（mixer）的，它实际上是一个乘法器。加在信号输入端的信号经滤波器会晤调谐放大器后加到PSD的一个输入端。在参考输入端加一个与被测信号频率相同的正弦波（或方波）信号，经触发整形和移相变成方波信号，加到PSD的另一个输入端。 设加在PSD上的被测信号为，加在PSD 上的方波参考信号 若用傅立叶级数展开，则方波的表达式为 幅度为1， ， （n=0,1,2…）. 于是PSD输出信号为 从上式可以看出，包括下列各频率分量： （2－2－1） （2－2－2） …… 在正常工作情况下，参考信号的基波频率与被测信号的频率是相等的，即。这时PSD的输出信号，中含有直流成分 （2－2－3） 经低通滤波器（low－pass filter，简称LPF）后，PSD输出信号中的交流成分被滤去，只有直流成分 有关，当的输出，它的大小与输入信号和参考信号的相位差时，输出信号最大 （2－2－4） 可见，输出信号的大小还和被测信号的幅值成正比。由于参考通道由精密可调的移相器，不管参考信号和被测信号之间的相位差时多少，总可以调节移相器，使在PSD输入端，从而输出达到最大值，经过校准一般让输出最大时代表输入信号的有效值。当时，。由以上讨论可以看出，在被测信号中若混杂有相同频率而不同信号的干扰信号时，经过PSD，会受到一定的抑制。（图2－2－2）画出了具有几个典型数值时的、和的波形。 的从式（2－2－2）进一步看出，若输入信号为三次谐波， 即出现了 情况，这时分量就是直流分量，其数值为 。 图2－2－3 与 如果的基波情况相比，除大小降低1/3以外，其他情况都一样。同理，则相应的直流分量为 。 （2－2－5） 这表明被测信号中