基于声表面波传感技术的微液滴检测方法.pdfVIP

第9卷 第3期 纳 米 技 术 与 精 密 工 程 V0l_9 No．3 2011年5月 NanotechnologyandPrecisionEngineering Md．v 2011 基于声表面波传感技术的微液滴检测方法 常 敏，周 军，鲁敦科，张学典 (上海理工大学光电信息与计算机工程学院，上海200093) 摘 要：为了提高声表面波(SAW)技术用于微液滴体积测量的精度，提 出了一种差分面积拟合法．根据声表面波 信号的特点分析 了差分面积拟合法的合理性，在 自行研制的声表面波液滴体积检测系统上对该方法的应用进行了 验证．采用两种黏性不同的微液滴，分别为5～9 的微水滴和微油滴进行 了测量．对测得的信号分别采用曲线峰 值法和差分面积拟合法与微液滴大小进行回归．实验结果表明，采用差分面积拟合法进行回归得到的模型的相关 系数相比采用峰值法提高了4％以上，同时对两种微液滴的预测均方根误差(RMSEP)减小了37％ 以上，从而证明 了该方法的有效性． 关键词：声表面波 ；微液滴；体积；差分面积法 中图分类号：TH832．1 文献标志码：A 文章编号：1672-6030(2011)03-0239-05 A M easuringM ethodofMicrodropletDetection UsingSurfaceAcousticW ave CHANGMin，ZHOUJun，LUDun—ke，ZHANGXue—dian (SchoolofOptical—ElectricalandComputerEngineering，UniversityofShanghaiforScienceandTechnology，Shanghai200093，China) Abstract：A differential—areamethodwasproposedtoimprovetheaccuracyofmeasuringthevolumeof microdropletsbasedonasurfaceacousticwave(SAW)technique．Firstly，thereasonablenessofthedif- ferential—areamethodwasanalyzedbasedonthecharacteristicsofSAW signa1．Then，themethodwas validatedusingadevelopedliquiddropletvolumedetectionsystembasedonaSAW technique．Twokinds ofliquiddropletswith differentviscosities，5 Lmicrowaterdropletsandmicrooildroplets，were measured．Themethodsofcurvepeakanddifferential—areawereappliedrespectivelytobuildtheregres— sionrelationshipbetweentheSAW signalandthesizeofmicrodroplets．Withthedifferential—areameth— od．thesquaresofcorrelationcoefficientsforthetwokindsofliquiddropletswereimprovedby4％ ．Mo— reover，therootmeansquareerrorsofprediction(RMSEP)werereducedbyover37％．Theexperimen— tal resultsshowthattheproposeddifferential--areamethodisefficientindetec