化学气相沉积生长石墨烯薄膜转移方法及转移用支撑-材料与测试网.pdfVIP

下载本文档

23
0
约5.73万字
约 7页
2017-09-03 发布于天津
举报
版权申诉

化学气相沉积生长石墨烯薄膜转移方法及转移用支撑-材料与测试网.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

化学气相沉积生长石墨烯薄膜转移方法及转移用支撑-材料与测试网

年月第卷第期２０１５１１３９１１　Vol．３９No．１１Nov．２０１５ : / DOI １０．１１９７３ xccl２０１５１１００２ jg 化学气相沉积生长石墨烯薄膜转移方法及转移用支撑材料的研究进展 , １２１１１１ , , , , 蔡伟王聪方小红陈小源杨立友 ( , , ; 中国科学院上海高等研究院薄膜光电工程技术研究中心上海１．２０１２１０ , ) 中国科学院大学北京２．１０００４９ : , 摘要根据化学气相沉积生长石墨烯薄膜转移过程中支撑物的不同将转移方法分为聚合物　、 , , 支撑法非聚合物支撑法以及无支撑法重点对聚合物支撑法用支撑材料进行了分析并对相关的 , . 转移技术进行较完整的总结并指出了未来的研究方向 : ; ; ; 关键词石墨烯化学气相沉积支撑材料转移技术中图分类号: 文献标志码: 文章编号: ( ) O４８４．１　　　 A　　　１０００Ｇ３７３８２０１５１１Ｇ０００７Ｇ０７ ProressinTransferTechnoloiesandRelatedSu ortin Materials g g pp g forGraheneFilmSnthesizedb ChemicalVaorDeosition p y y p p , １２１１１１ , , , , CAIWei WANGCon FANGXiaoＧhon CHENXiaoＧuan YANGLiＧou g g y y ( , , １．ResearchCenterofThinFilmO toelectronicEnineerin ShanhaiAdvancedResearchInstitute p