大孔吸附树脂吸附三氯氢硅尾气性能的分析研究.pdfVIP

中文摘要 三氯氢硅合成工艺的尾气中主要成分为氢气、HCl、氯硅烷，都是非常有用 的同时又是非常危险的组分，如果直接排放，不但污染环境，而且浪费资源，采 用吸附法回收氯硅烷和HCl是一项有巨大商业潜力和开发前景的技术。 以大孔吸附树脂(A1、A2和A3)为吸附剂，通过一系列的动态实验筛选 出A1对氯硅烷和HCl的吸附性能最佳。动力学实验结果表明，控制步骤是粒内 扩散，过程符合Kannan＆Sundaram模型。 在tI)10x380mm的吸附柱内，确定了动态实验中A1树脂的最佳操作条件。 结果表明，对于吸附过程：尾气流量7．0--8．0L／h，温度为20℃，吸附时间为2．78h； 对于解吸过程：氮气流量7．5L／h，解吸温度110℃，解吸时间90rain。此外，实 验中还测定了树脂A1对三氯氢硅合成气的吸附性能和使用耐久性。实验结果表 明，A1树脂对合成气中氯硅烷和HCl的穿透曲线比对尾气中氯硅烷和HCl的穿 透曲线更为陡峭，穿透体积与饱和体积之比增大，即吸附效率提高。对树脂Al 的连续6次循环使用，穿透体积和饱和体积均无明显降低，表明性能稳定，耐久 性较好。 对溶剂S浸泡过的树脂吸附三氯氢硅尾气进行实验研究，对比实验结果表 明，用溶剂S浸泡过的树脂对氯硅烷和HCl的吸附能力显著降低，其穿透曲线 比未用溶剂S浸泡的树脂的穿透曲线更为平缓。 关键词：大孔吸附树脂，吸附，氯硅烷，HCl，吸附动力学 ABSTRACT the of exhaustis lrichlorosilane，thegasprimarilycomposed Duringproduction of chlorideand are usefulbut hydrogen，hydrogenchlorosilanes，whichvery ofthese not the dangerouscomponents．Directdischargingcomponentsonlypollutes environmentbutalsowastethe chlorosilaneandHCl preciousresources．Recycling isa with of byadsorptioncommerciallypromisingtechniquegreatpotential development． thethree resins and wasfoundto A1，A2A3，A1 Among macroporousadsorption bethebestonefor chlomsilaneandHCI aseriesof adsorbing through dynamic Wasfoundthattheinternaldiffusioninsidetheresin adsorptionexperiments．It Wasthe andthe followedtheKannan particlesrate-limitingstep adsorptionprocess Sundarammodel． 乃e conditionsforthe ofHClandchlorosilaneswere optimal recovery determinedina@10x380mmcolumn withresinA1．Thebestconditionsfor