半导体与平面显示器制造自动化技术-科技研究总中心hrst.pdfVIP

半導體與平面顯示器製造 自動化技術 文 / 游欽宏 於半導體產業方面，在元件製造技 前言 術上，由於線寬的不斷縮小，使得電晶 體的產能歷年來可以跟隨摩爾法則，達 半導體產業及平面顯示器產業為我 到每一年半至兩年增加一倍的產能；另 國現階段重要的兩兆產業，我國半導體 外在製造生產力方面，則由於更多的製 產業從 1980 年代成立之聯電公司及台積 造工廠、更大的晶圓尺寸、較佳的矽晶 電公司開始，於 1990 年代中蓬勃發展， 圓使用率、更高的可使用率及可靠度、 奠立我國半導體產業在全球之地位。 而 更高的生產速率及良率等因素促成下， 我國平面顯示器製造產業則由早期小尺 使得電晶體的產能每三年達到五倍的提 寸面板製造開始，於 1990 年代末由友 升。對於平面顯示器產業而言，產能之 達、華映、奇美等公司策略性投入大面 提升主要來自於製造生產力之提升，其 積 TFT 液晶顯示器製造，使得我國得以 中基材尺寸加大是一重點。 發展成為與日本及韓國三強鼎立之平面 晶圓及基材尺寸的加大對於製造生 顯示器製造大國。 產力的提高是一個關鍵，半導體晶圓尺 半導體與平面顯示器製造產業投資 寸從 1980 年代中之 6 吋， 1990年代初之 額度龐大，經濟規模的建立對各公司而 8 吋到 1990 年代末之 12 吋，統計上約七 言皆是一個重要課題。適時地建立產能 年半提升一倍面積。而平面顯示器基材 對於經濟規模的建立具有關鍵的影響， 尺寸面積的提升則更為快速，在第一代 而半導體及平面顯示器製造產能提高的 至第三代約四年多提升一倍，然而從第 兩大推動力量主要為元件製造技術上的 四代至第七代則加快到每一年半提升一 進步及製造生產力的提升。 倍，由此可知基材尺寸的提升對於平面 文 6 機械月刊第三十一卷第十二期 顯示器產業產能的影響性更為明顯。事 實為必然。 實上對於一家平面顯示器製造廠而言， 半導體廠之晶圓輸送系統發展趨勢 基材尺寸的決定可說是該公司的一項重 主要可分三個方面 ：首先是 300mm 晶圓 大決策。對於半導體與平面顯示器產 尺寸製造之被接受 ，全球後續主要製造 業，量產技術可說是一家公司投入該產 晶圓廠以 3 0 0 m m 晶圓廠為主，由於 業是否成功的重點，由於矽晶圓及玻璃 300mm 晶圓廠必須完全自動化，不管在 基材尺寸之加大，使得自動化技術對於 製造廠或設備上面，晶圓輸送系統之需 半導體及平面顯示器產業之量產技術具 求將大為提升。第二方面是在半導體小 有深遠影響。 尺寸晶圓方面，如 8 吋及 6 吋晶圓製造 半導體及平面顯示器之自動化技術