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感应同步器测角系统误差测试及补偿-清华大学学报
( ) /
清华大学学报 自然科学版 年 第 卷 第 期
ISSN１０００Ｇ００５４ ２０１６ ５６ ６ ８２０
/ ( ), , ,
CN１１Ｇ２２２３N JTsinhuaUniv SciTechnol ２０１６ Vol．５６ No．６ ６１１Ｇ６１６
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感应同步器测角系统误差测试及补偿
, ,
李海霞 张 嵘 韩丰田
( , )
清华大学 精密仪器系 北京 １０００８４
:
摘 要 工程实用的高精度感应同步器测角系统因安装及
由感应同步器及相关处理电路组成的测角系统
,
校准等条件的限制 有时难以应用圆光栅进行误差密集测
、 ,
精度高 抗干扰性好 广泛应用于精密角位置伺服
.
补来提高精度 针对该问题研究了一种稀疏误差采样及补 [ ]
１３
系统 .测角系统误差主要源于测角元件的制
. ,
偿方法 在分析感应同步器测角系统误差特性的基础上
、 、 ,
作 安装 原理性误差及测角电路误差 分为零位误
,
提出先测补零位误差引起的细分误差成分 再处理剩余细
. ,
差和细分误差 其误差特性稳定 进行软件补偿是
, 、
分误差的方式 给出了由棱体获取全面 有效零位误差的方
[ ]
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提高测角精度的有效手段 .
. :
法及应用稀疏误差数据补偿的具体过程 实验表明 应用
该方法后某测角系统精度由最大误差峰峰值 １１．７″提升至 感应同步器测角系统误差软件补偿一般采用线
[ ] [ ]
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