超声振动系统及旋转超声加工过程仿真的的分析研究.pdfVIP

摘要 摘要 随着现代科技和现代工业的发展，高速度、高精度、耐高压、耐高温、小型化 的产品被越来越多的应用于各个领域。其所用硬脆性难加工材料如硬质合金、钛合 金、淬硬钢、工程陶瓷、光学玻璃、硅晶体、宝石、刚玉等，由于材料本身机械加 工性能差、传统方法的加工效率低、质量差、成本高，极大的限制了此类材料的推 广和应用。旋转超声加工不依赖于材料的导电性，热物理作用小，可有效避免热损伤 和微细龟裂的产生，故旋转超声加工技术在陶瓷、硅等硬脆材料加工方面有着得天 独厚的优势。 超声振动系统主要由超声变幅杆、工具头和换能器组成。可以将超声电源输出 地高频震荡电压转换成高频的机械振动，从而对工件进行加工。 目前，旋转超声加工材料去除机理还没有定论，其原因是工具做高频振动( 16KHz)，工具振幅太小(100 1．tm)，无法直接观测到材料的去除过程。因此有限 元仿真的方法成为解决这一问题的有效手段。 旋转超声加工通孔时，出口处经常出现崩边现象，严重影响工件加工质量。崩 边原因是工具与工件直接接触，在加工最后阶段，由