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纯 化 水 1 主题内容与通用范围 本标准给出了电力半导体器件工艺用高纯水（以下称高纯水）的级别、技术要求、测试方法和规则。 本标准适用于去离子处理后的高纯水。 2 引用标准 GB 11446电子级水及其检测方法。 3 术语 3.1 电导率 Electrical conductivity 在规定温度下，1cm3水溶液两相对面之间测得的电阻值的倒数。电导率通常以μS/cm为单位。 纯水的理论电导率为0.05482 μs/cm (25℃时)。 3.2 电阻率 Resistivity 电导率之倒数。 纯水的理论电阻率为18.248 MΩ.cm (25℃时)。温度升高时电阻率下降。 3.3 总溶解性固体 Total dissolved solids（TDS） 水中溶解物质的总含量，包括钙镁离子、胶体、悬浮颗粒物、蛋白质、病毒、细菌、微生物及尸体。TDS通常以mg/L或ppm为单位。 3.4 总硬度（DH值） 水总硬度是指水中Ca2+、Mg2+的总量。 硬度一般以德国标示法为准，计为DH。即以每升水含氧化钙10mg为1DH。小于8DH为软水、大于17DH为硬水。 × 0.056，或1°DH约相当于CaCO3硬度17.8ppm。 3.5 颗粒性物质 Granular substance 除气体以外，以非液态形式分散在水中，并形成非均匀相混合物的物质。 3.6 总有机碳 (TOC: Total organic carbon) 水中以各种有机物形式存在的碳的总量。包括易被一般的强氧化剂氧化的有机物和需用特殊化学处理的有机物。 3.7 总固体 Total solid 水样蒸发、烘干后残留的固体总量。 3.8 全硅 Total silicon 水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量。全硅和可溶性硅之差即称为胶体硅。 3.9 高纯水High-pure water, Ultra-pure water 电阻率在5MΩ·cm以上，以各种形式存在的物质含量有一定规定限制的很纯净的水 3.10 原水Raw water 纯化处理之前的水。常用的原水如自来水、水等。 3.11 终端 Terminal 高纯水生产流程中经过各道纯化工艺后，水的出口使用地点。可分别称为制水终端和用水终端。 3.12 微量Micro-amount 试样量在1mg左右。 3.13 痕量 Trace amount 试样量在1μg左右。 3.14 百万分之一 (ppm) part per million 重量比的单位，相当于每百万单位重量的溶液中含一单位重量的溶质。 在水质分析中，一般也认为相当于每升中水样含杂质的毫克数(mg/L)。 3.15 十亿分之一 (ppb) part per billion 重量比的单位，相当于每十亿单位重量的溶液中含一单位重量的溶质。 在水质分折中，一般认为相当于每升水样中含杂质的微克数(μg/L)。 4 高纯水的级别 4.1 高纯水可分为电子级高纯水和普通高纯水，分别用符号EH和PH标志。 4.2 电子级高纯水 4.2.1 在制造工艺中使用电子级高纯水的电力半导体器件有如下特点： a．具有精细图形结构； b．对器件表面有特殊要求； c．工艺对水质有特定的严格要求。 4.2.2 电子级高纯水分为两个级别：特级和1级。它们的标志分别是： 特级电子级高纯水：EH—T 一级电子级高纯水：EH—1 4.3 普通高纯水 4.3.1 普通高纯水用于一般电力半导体器件的制造工艺中。 4.3.2 普通高纯水分为三个级别：Ⅰ级、Ⅱ级和Ⅲ级。它们的标志分别是： I级普通高纯水：PH— Ⅰ x级普通高纯水：PH—Ⅱ m级普通高纯水：PH—Ⅲ 4.4 电阻率低于5MΩ·cm的水不能称为高纯水 5 技术要求 5.1电子级高纯水 5.1.1 电子级高纯水应考核四项指标： a. 水中自由离子浓度（主要影响电阻率）； b．水中悬浮微粒的数量和大小； c. 水中有机物总量； d. 水中细菌微生物状况。 5.1.2 电子级高纯水的各项技术指标由下表1给出： 指标 级别 EH-T EH-1 电阻率,MΩ·cm(25℃)? 18 (90％时间） 最小17 16~18 (90％时间） 最小15 大于1μm微粒数,个/mL ＜1 1 ?大于0.5um微粒数 (最大值),个/mL 100 150 ?细菌个数,个/mL ?＜1 1 ?总有机碳含量(最大值),μg/L 50 100 全硅(最大值),μg/L 2 10 氯含量(最大值),μg/L? 0.5 2 钾含量(最大值),μg/L? 0.2 1 钠含量(显大值),μg/L 0.2 1 钙含量(最大值),μg/L 0.5 1 铝含量(最大值),μg/L 0.5 1 铜含量(最大值),μg/L 0.1 1 (最大值),μg