大功率半导体激光器阵列光束整形新进展.PDF

REVIEW 大功率半导体激光器阵列光束整形 新进展 俞建杰1谭立英I马晶1杨玉强1,2 ，l哈尔滨工业大学可调谐激光技术国家级重点实验室，黑龙江哈尔滨，150080／ ＼2哈尔滨理工大学应用科学学院，黑龙江哈尔滨，150080 ／ Yu Tan Ma JianjielLiyin91Jin91YangYuqian91，2 lNational TunableLaser Institute f KeyLaboratoryof of 1 Technology,HarbinTechnology, Harbin Heilongjiang150080，China Institute and J 【2 Science,HarbinUniversityofScienceTechnology,HarbinHeilongfiang150080，China ofApplication 摘 要大功率半导体激光器阵列(LDA)的应用日益广泛，但受其发光机制的限制，光束质量较差。为满足应用要 求，必须对LDA光束进行整形处理。介绍rLDA光束整形的基本原理和关键技术，按照光束传播特性 的不同，将整形技术分为两大类，即几何光学光束整形和衍射光学光束整形方法进行了阐述。在阐述典 型例子的基础上，分析和比较了各种整形方法的优点和不足。 关键词激光技术；几何光学；半导体激光器阵列；光束整形；衍射光学 AbstractThe of laserdiode widerandwider，butthe applicationhigh-power arrays(LDA)isbecoming beamsfrOm forits mechanismofluminescence．Inorderto of LDAis qualityoutput poor unique meetthe onbeam invarious musttransfOrmlaser into requirementsquatity applicmions。it light ordistribution．Afterthe ofbeam and techniques， requiredprofile introducingprinciple shapingkey wesummarizethe forLDAbeam and and analyzecompareadvantage technology shaping，and in allkindsof beam to different technologies propagation shortcoming shaping according characteristicof beams． light laser diode Keywords optics；laserarrays；be