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八、超声波加工(P174) ○什么叫超声波? ○人耳能感受的声波频率在16—16 000Hz范围内，声波频率超过16 000Hz被称为超声波。 ○为什么超声波加工能弥补电火花加工和电化学加工的不足? ○电火花加工和电化学加工只能加工导电材料，不能加工不导电的非金属材料。 ○超声波加工能加工脆硬金属材料，并更适合于加工不导电的脆硬非金属材料，如玻璃、陶瓷、半导体锗和硅片等。 ○超声波还可用于清洗、焊接和探伤等。 1. 超声波加工的基本原理 超声波加工的原理如下图所示， 超声波加工是磨粒在超声振动作下的机械撞击和抛磨作用以及超声波空化作用的综合结果 2.超声波加工的特点 1)适合于加工各种脆硬材料 靠微观局部撞击作用 2）加工设备结构简单 工具形状可多变、无复杂的相对运动 3）工件表面切削应力、切削热很小，不会变形无烧伤 去除加工材料是靠极小磨粒瞬时局部的撞击作用，无宏观的工件表面切削力。 4）精度高 Ra值可达1．0—0．1μm，加工精度可达0．01—0．02mm，并可加工细小结构和低刚度的工件。 3.超声波加工应用 超声波加工生产率比电火花、电解加工低，但加工精度和表面粗糙度却更好，能加工非导体、半导体等脆硬材料，如玻璃、石英、宝石、锗、硅甚至金刚石等。即使是电火花加工后的一些淬火钢、硬质合金冲模、拉丝模、塑料模具，常采用超声波抛磨法进行光整加工。 1）型孔、型腔加工 超声波加工目前在工业部门中主要用于对脆硬材料加工圆孔、型孔、型腔、套料和微细孔等，如下图所示。 2）切割加工 用普通机械加工切割脆硬的半导体材料很困难，采用超声波切割则较为有效。右图为用超声波加工切割单 晶硅片示意图。用锡焊或铜焊将工具(薄钢片或磷青铜片)焊接在变幅杆的端部加工时喷注磨料悬浮液，一次可 以割10—20片。 加工时喷注磨料悬浮液，将坯料片先切割成l mm宽的长条，然后将刀具转过90°，使导向片插入另一导槽中，进行第二次切割以完成模块的切割加工。下图所示为已切成的陶瓷模块。 3）复合加工 背景： ○超声波加工不足------加工硬质合金、耐热合金等金属材料时，加工速度低，工具损耗大。 ○对策——把超声波加工与其它加工方法结合起来，这就是所谓的复合加工。 例如采用超声波与电化学或电火花加工结合加工喷油嘴、喷丝板上的小孔或窄缝，能极大地提高加工速度和加工质量。 4）超声波清洗 ○原理------利用超声频振动在液体中产生的交变冲击波和空化作用。 超声波在清洗液(汽油、煤油、酒精、丙酮或水等)中传播时，液体分子往复高频振动形成正负交变的冲击波。当声强达到一定数值时，液体中产生微小空化气泡并瞬时强烈闭合，造成的微冲击波使被清洗物表面的污物脱落下来。 超声波无孔不入，即使污物在被清洗物上的窄缝、细小深孔、弯孔中，也容易被清洗干净。 超声波广泛用于对喷油嘴、喷丝板、微型轴承、仪表齿轮、手表整体机芯、印制电路板、集成电路微电子器件的清洗。 下图为超声波清洗装置示意图。 5）超声波焊接 ○原理——是利用超声频振动作用去除工件表面的氧化膜，暴露出新的本体表面，通过两个工件表面在一定压力下相互剧烈摩擦、发热而亲和粘接在一起。 ○应用——可以焊接尼龙、塑料以及表面易生成氧化膜的铝制品等，还可以在陶瓷等非金属表面挂锡、挂银、涂覆熔化的金属薄层等。 下图为超声波焊接示意图。 下表为可以采用超声波焊接的某些成对金属，有些金属在超声波作用下的可焊性增大。 ○利用超声波的定向发射、反射等特性，还可用以测距和探伤等。 九、微米／纳米技术 (P182) 1.概 述 人类对于大自然的科学探索和人类的工程实践分别向超大型的世界、超微观的世界及超复杂的世界进军。(两极分化) 最早进入分子、原子世界的是凭借哲学的思辩与猜想的哲学家。 其次是凭借科学理论与科学仪器的科学家，他们追求的是对于客观世界认识的深化与理论的严谨。 今天各行业工程技术人员纷纷进入分子、原子的幽深神秘的殿堂。追求的是对于微观规律的掌握、应用和巨大的经济效益。 人类的工程活动正在越过微米、亚微米级的区域，进入纳米、亚纳米级，人们把这个领域的技术称之为微米／纳米技术(Micro＆Nano—Technology)。 微米／纳米技术在国际上初露头角，它使人类在改造自然方面进入一个新的层次，即以微米层次深入到原子、分子级的纳米层次，开创了纳米电子、纳米材料、纳米生物、纳米机械、纳米制造、纳米测量等新的高技术群。 微米／纳米技术将开发物质潜在的信息和结构潜力，使单位体积物质储存、处理信息和运动控制的能力实现又一次飞跃。导致人类认识和改造世界的能力取得重大突破。