HfO光敏凝胶薄膜的制备及其上光栅结构的引入同济大学物理.DOCVIP

光敏凝胶薄膜的制备及其上光栅结构的引入 应用物理学 周昌鹤 指导教师 周斌 [摘要] 氧化铪具有非常优良的物理和化学性能，它折射率高（~2.0），在紫外至红外波段范围吸收系数小，因而在光学薄膜领域应用广泛。本文以叔丁氧基铪为前驱体，乙酰丙酮与苯甲酰丙酮为螯合剂，制备了具有负性光刻胶性质的HfO2光敏溶胶。用旋涂法和提拉法镀制了凝胶薄膜，其在紫外波段（300~400nm）具有特征吸收峰。采用掩膜和紫外曝光工艺，显影后在上薄膜上引入了周期为50um和2um的光栅结构。 [关键词] 溶胶-凝胶，镀膜，紫外曝光，显影，光栅 [Abstract] Hafnium oxide has excellent physical and chemical properties. It is high optical index (~2.0) and low absorption materials used in particular for optical coatings operating between the near UV and IR regions. In this article, hafnium oxide was prepared by a sol-gel process. The material was synthesized using hafnium tetra-b