多级Y型流管无阀压电泵的原理与试验验证-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学 精密工程 ２１ ２ 　 Ｖｏｌ．２１ Ｎｏ．２ 　 　 　　　　　 　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　 　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１３ ２ Ｆｅｂ．２０１３ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１３０２０４２３０８ 　 多级“ ”型流管无阀压电泵的原理与试验验证 Ｙ １ １ ２ 黄 俊 ，张建辉 ，王守印 　 （ 南京航空航天大学 机械结构力学及控制国家重点实验室，江苏 南京 ； １． ２１００１６ ２．中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 １３００３３） 摘要：针对目前微流体混合器多需要外接动力源，且多数微混合器只能进行液体混合而不能输送液体的问题，提出将无 阀压电泵引入微混合器领域，并研制了一种集混合与输送于一体的多级“ ”型流管无阀压电泵。首先，提出了多级“ ” Ｙ Ｙ 型流管，进而设计了多级“”型流管无阀压电泵，并分析其工作原理；然后，对该无阀压电泵的流管流阻特性及泵流量进 Ｙ 行理论分析；同时，利用有限元软件对多级“”型流管无阀压电泵进行了流场模拟，结果表明该压电泵具有单向传输作 Ｙ 用。最后，制作了多级“”型流管无阀压电泵样机，并进行了泵流量与背压试验。试验结果显示：驱动电压峰峰值为 Ｙ １００ ，频率为 时，流量达到最大，为 ／ ；驱动电压峰峰值为 ，频率为 时，输出背压最大，约为 Ｖ １６Ｈｚ １６．２ｍｌｍｉｎ １００Ｖ １４Ｈｚ ６４ 水柱。得到的试验数据证明了多级“”型流管无阀压电泵的有效性。 ｍｍ Ｙ 关 键 词：多级“”型流管；压电泵；无阀泵；微混合器 Ｙ 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ： ／ ＴＨ３８ＴＮ３８４ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ０４２３ 　　 　　 犜犺犲狅狉犪狀犱犲狓犲狉犻犿犲狀狋犪犾狏犲狉犻犳犻犮犪狋犻狅狀狅狀狏犪犾狏犲犾犲狊狊 犻犲狕狅犲犾犲犮狋狉犻犮 狔 狆 狆 狌犿 狑犻