光纤陀螺用Y分支光波导的质子交换及退火的分析研究.pdfVIP

摘要 摘 要 Y分支是集成光学中的重要器件单元，广泛应用于调制器，光开关，光分路 器的器件中，尤其是作为中高精度光纤陀螺系统的核心器件。 首先，文章简要阐述了干涉式光纤陀螺仪(I．FOG)的基本工作原理；然后， 利用有效折射率法，讨论得到高斯型渐变折射率波导在单模传输条件。在Y分支 光波导的设计方面，针对两种不同弯曲Y分支的弯曲损耗，分别用光波导的弯曲 损耗理论和时域有限差分光束传输法(FD—BPM)仿真，得出了一组最优化的Y 分支光波导设计参数。 然后结合扩散反应动力学理论中的空位与间隙扩散机制，分析了质子交换、 退火质子交换、缓冲源质子交换波导的折射率变化。并对交换后铌酸锂波导的晶 相特性进行分析，从晶体结构和H+浓度的角度来解释其特性变化。对交换过程添 加缓冲质子源(苯甲酸锂)从而导致表面扩散系数发生改变进行了理论分析。讨 论了质子交换和退火工艺的原理及制作技术，利用常用工程解法对质子交换深度 和交换时间等诸多因素影响下得到的结果进行了比较，提出先进行质子交换，期 间加入少量苯甲酸锂，然后在一定条件的退火，这样可以缩短节省制作周期，得 出生成Q相波导的最佳工作条件。 最后通过大量的试验和实际工艺制作，验证了前面的理论分析，得到了可工 作的光波导片。然后进行精密光学i贝Ⅱ试，得到实验数据。最后通过讨论这些实验 数据，得出Y分支波导的主要性能指标。 关键词：集成光学，Y分支光波导，退火质子交换，反应动力学，扩散。 Abstract Abstract． Ybranchesis inthe devices is usedin importantintegratedoptical unit，it widely modulator,optical splicer in FOG． switching，opticaldevices，especiallyhigh—precision First，thishasintroducedthe situationofthe paper development integrated optics，and discussedthebasic of themethodof effectiverefractive theoryFOG．Then，using index， discussed transmissionconditionsinGaussianindex single—mode the gradedwaveguide．To design oftheY-branch opticwaveguideloss，the loss andthe bending pure bendingtheory finitedifferencebeam