与硅平面工艺兼容的-p+型多孔硅的发光特性研究3.PDFVIP

　第 19 卷第 11 期　　　　　　　　半　导　体　学　报　　　　　 　　 . 19, . 11　 V o l N o 　1998 年 11 月　　 　　　 　　　　　　 . , 1998　 CH IN ESE JOU RNAL O F SEM ICONDU CTOR S N ov 与硅平面工艺兼容的 - + 型 p p 多孔硅的发光特性研究