微细电极与孔的电火花加工尺寸一致性工艺.pdfVIP

ISSN 1000-0054 清华大学学报 (自然科学版) 2014年 第 54卷 第 l1期 l2／2O — — CN 11—2223／N JTsinghuaUniv(SciTechno1)，2014，Vo1．54，No．11 146O一1465 微细电极和孔的电火花加工尺寸一致性工艺 张 龙 ， 李 勇， 佟 浩 (清华大学 机械工程系，制造工程研究所 ，精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室 ，北京 100084) 摘 要 ：线放 电磨削(WEDG)方法巧妙地解决了微细 电极 微细电火花加工为非接触式加工 ，采用微小放 的在线制作 问题，启动和促进 了微细 电火花加工技术研究。 电能量和微细电极 ，可加工出大深宽比的微细孔、微 但对于孔径小于 100“m 的批量化微细孔加工，WEDG面临