磁敏传感器产业现状发展趋势.docVIP

磁敏传感器产业的现状和发展趋势 懒一. 述： I的磁 的发展趋势。 关键词：磁敏传感器磁场检测产业性应用 1 概述 磁敏传感器是将磁场信息转换成各种有用 信号的装置。它是各种测磁仪器的核心。为了 检测并利用磁砀，人们研制了各种测磁仪器。到 目前为止，已形成了十多种常用的测磁方法，研 制和生产出了几十个大类上百种测磁仪器，文 献l-i]给出了这些测磁方法和仪器的种类和主 要技术指标。 蕾t恃■ ■ 叵 圜1 一般洲磁由L器的组成方块圜 如图1所示，一般的测磁仪器都是由磁敏 元件、转换器(由此组成传感器)、信号处理电路 和读出电路组成。仪器的基本性能(例如灵敏 度、动态范围、精确度)，主要由它的传感器来决 定。信号处理电路可以提供放大、转换(例如F／ V、A／D等转换)、补偿、校正等功能。因此，我们 认为，测磁仪器所具备的技术指标和技术水平 反映了当代传感器的主要性能和水平。 随着磁性材料的发展，人们利用各种磁性 材料来作信息载体，例如计算机信息存储、音像 信息的记录各种物体运动信息，包括位置、位 移、速度、转速等等，都可以借助磁性体来作载 体。因而需要大量的、各种各样的磁的读出、写 入和传感装置。从而促使磁敏传感器逐渐地和 测磁仪器分离，形成了独立的磁敏传感器产品。 近三十年来，磁敏传感器产业发展迅猛。现在， 垂 可以说“任何一台计算机、一辆汽车、一家工厂 离开磁敏传感器就不能够正常工作”“ 。同时， 磁敏传感器已深入到人们的日常生活，许多家 用电器，例如收录机、电视录像机、空调机、洗衣 机等，都大量地使用着磁敏传感器。 2 磁敏传感器的特点和磁敏传感 器产业的发展现状 信息产业或过程控制等产业性应用，要求 检测的磁场范围一般在10nT~IT范围，而且 要求磁敏传感器结构精巧坚固、体积小、重量 轻、功耗低，和外电路接口方便，能在恶劣的环 境下(例如强震、多尘、高温，甚至有油污或一定 的腐蚀性气氛，例如盐雾中)工作，并可抗电磁 干扰。还有一个严酷的要求，就是价格低，即高 的性能价格比。在这些要求之下，迅速实现了产 业化的磁敏传感器，主要有： 2．1 霍尔器件霍尔器件分霍尔元件和霍尔 电路两个大类，它以霍尔效应为工作基础，可检 测10 T～10T的磁场。 Insb霍尔元件灵敏度最高但温度稳定性 较差，GaAs霍尔元件温度性能最好但价格最 高。InAsP是性能和价格都较适中的霍尔元件。 硅霍尔集成电路因可将霍尔元件及信号处 理电路集成在同一个芯片上，且适于和各种逻 辑电路直接接口，使用十分方便，因而发展了许 多种数字输出的霍尔功能电路。国内外市售霍 尔电路有约300个品种，有单极开关、双极开 关、锁定开关、差动开关、功率开关、无刷电机驱 动电路、多路双线霍尔集成电路等多种类型，还 ·28 · 维普资讯 有线性输出电路等。 目前，全世界对霍尔器件的年需求量在1O 亿只以上，已在无刷电机、齿轮转速检测、过程 控制中的无触点开关、定位开关，汽车的安全装 置ABS(防抱死制动系统)，汽车发动机点火定 时，电流电压传感器等上得到了广泛的应用。其 特点是无触点传感，可靠性高，用以检测电流电 压，不要接入主电路即可进行。无位(Potential— free)检测，无插入损耗，且实现输入和输出信 号的完全隔离，无过载损坏等等。 目前国外已有几十家大公司将霍尔传感器 列为自己的重要产品。例如美国的霍尼威尔、奥 立格罗(原称史普拉格)、德克萨斯仪器公司，德 国的西门子，13本的橙下、索尼、三洋等等。13本 的旭化成电子的年产量就在5亿只以上。近年 来，东欧各国如保加利亚、波兰、捷克和独联体 的一些主要国家都在竞相发展。 我国研制和生产霍尔器件的单位也很多， 有沈阳仪器仪表工艺研究所、北京701厂、合肥 半导体厂、南京中旭微电子有限公司等。南京中 旭微电子有限公司的年产量可达三千万只，并 大量出口，为我国最大的霍尔器件生产厂。 霍尔器件的产品，倒如霍尔接近开关、霍尔 位移传感器、霍尔翼片开关、霍尔电流电压传感 器等，已作为独立的产品门类大量进入市场。霍 尔翼片开关已在汽车点火器上得到大量应用， 它以无触点、点火正时性好而受到汽车制造商 的青睐，许多名牌汽车都已采用。霍尔电流电压 传感器大量在交流变频技术、电机调速、电机电 器过载保护、电焊、电气机车、特种电源(如开关 电源、逆变电源UPS等)、能源管理、节能等方 面发挥重要作用，国内外生产的厂家也很多。我 国南京中旭微电子有限公司、北京莱姆、霍尼威 尔中国公司等约10家厂商有系列产品售出。从 毫安到兆安，都能选到合用的产品。 市售InSb、lnAs霍尔元件都已实现薄膜 化大量生产。目前InSb的实验室样品可测到 10 。T的弱磁场。用无掩模离子注入工艺制作 的GaAs霍尔元件的作用区宽度可以小到 o．25g