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摘要
目前扫描探针显微镜的发展趋势是功能的复合化，根据原子力显微镜(AFM)
的工作原理，可以开发适用于不同领域的显微镜，即A阿不同扫描模式的拓展。
本文首先介绍了几种基本的AFM成像模式，并从针尖一样品相互作用动力学
理论、能耗理论以及A-P—z曲线原理分析了轻敲模式下AFM的相位成像，讨论了
如何由A-P—z(振幅一相位针尖至样品距离)曲线选择扫描振幅的设置参数，扫
描振幅参数的不同选择将直接影响相位图像的好坏，甚至是真假，所以选择一个
好的扫描振幅参数是至关重要的。其次介绍了新型复合显微镜原子力／光子扫描
隧道显微镜(AF／PSTM)的成像模式，并给出了很多具体实验结果，最后还对脉
Force
冲力成像模式(PulsedMode—PFM)进行了详细的介绍。
关键词
原子力显微镜(AFM)
相位成像
扫描振幅参数
原子力／光子扫描隧道组合显微镜(AF／PSTM)
脉冲力成像模式(PFM)
ABSTRACT
A to Probe functionalities．
trend multiple
Microscope(SPM)is
general Scanning
tothe of thatare forvarious
applicable
AFM，microscopes
Accordingprinciple
mode
be the ofdiffbrent ofAFM，
domainscarl developed，namelyextending scanning
of arefirstintroduced．Phasein
Several modesAFM
elementary imaging
imaging
ModeAFM intip-sample
dynamics dissipationtheory
Tapping using theory,energy
and of been tosetthe
interactionthe A—P-Zcurvehave analyzed，How
principle
orfall
A-P—Zcurveisdiscussed．Standof
scanningamplitudeparametersby phase
isdeterminedthe of
images by choosing
scanninganlplitudeparameters．False
lead
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