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MgO蒸镀设备1
COC用MgO膜的制备设备
黄友兰
技术质量部
2014年1月24日星期五2时21分58秒 P-
提纲
厂家介绍
COC用设备介绍
GPCS介绍
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设备周末维护介绍
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工艺过程简介
PDP
2014年1月24日星期五2时21分58秒 P-
(一)、厂家介绍
마스터 제목 스타일
편집
2014年1月24日星期五2时21分58秒 P-
COC用设备型号:ECH-240L型
生产厂商:ULVAC (日本真空株式会社)
마스터 제목 스타일
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2014年1月24日星期五2时21分58秒 P-
公司名称 ULVAC, Inc.
商 标 ULVAC
创业 日期 1952年8月23日
法人代表 董事长总经理 中村 久三
资 本 金 134亿6,779万7,500日元 (至2004年12月)
员工人数 1,201名 (至2004年7月)
经营内容 显示器、半导体、电子、电气、金属、机械、汽车、化学、
食品、医药品产业界所需要的;及面向大学与研究所的真空
마스터 제목 스타일
装置;外围设备;真空元件的开发、制造、销售、客户支持
以及各类机械的进出口。
此外,还包括所有真空技术的研究指导、技术顾问。
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所获专利 日本国内专利475项,实用新案例12项;
美国67项;英国13项;德国21项;法国12项;荷兰13项;瑞士6项;
韩国13项;中国40项
说明 产品以真空设备为主,涵盖半导体、平面显示器、消费性电
子、机械及食品医药等产业,是日本最大的真空设备制造商
2014年1月24日星期五2时21分58秒 P-
真空装置
溅镀装置 CVD装置 有机EL成膜装置 镀金属装置
마스터 제목 스타일
편집
离子注入装置 溅镀装置 研究开发用溅镀装 真空感应熔炼炉
置
卷取式溅镀装置 单腔式/装载锁住溅镀装置 刻蚀装置 碳纳米管生长实验装
置
2014年1月24日星期五2时21分58秒
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