制绒缺陷.pptxVIP

制绒清洗常见缺陷;2;常见缺陷;1、指纹残留 原因：人为直接接触 硅片造成 解决方法：生产操作时规范，保证手套的清洁;2、药液残留 原因：清洗不够或IPA加入过多 解决方法：增大喷淋，减少IPA的量;3、油污 原因：来料问题，可能在硅片包装时引入 解决方法：与硅片厂家协商解决;4、表面有污渍 原因：在制绒后反应残留物，清洗不净 解决方法：重新清洗; 二、硅片表面发白 原因：制绒时间不够或者NAOH含量不够 解决方法：通常延长制绒时间或者 增添NAOH ;三、硅片表面发亮 现象：表面发沙 原因：NAOH过量或者是刻蚀时间过长 解决方法：适当降低NAOH的用量及制绒时间; 四、表面刻蚀不均 现象：硅片表面部分区域发白，有慧星现象 发生 原因：IPA偏少 解决方法:适当增加IPA的用量 ;五、绒面不均 现象： 硅片表面出现规则的绒面不良 原因：可能是来料问题 解决方法：适当延长时间可以一定程度上减轻该现象;六、无绒面 现象：表面有流星雨现象发生 原因：来料 解决方法：加大碱液用量;七、绒面不均 现象:部分区域绒面良好, 部分绒面表现为较难刻蚀 原因：来料原因 解决方法：加大碱液与 IPA的用量通常可以解决，具体加入量依据实际情况而定;;;;;;