利用飞秒雷射微奈加工技术於玻片上制作高深宽比之微流道.PDFVIP

科學與工程技術期刊 第五卷 第四期 民國九十八年 49 Journal of Science and Engineering Technology, Vol. 5, No. 4, pp. 49-55 (2009) 利用飛秒雷射微奈米加工技術於玻片上 製作高深寬比之微流道結構 1 1,2 3 3 3 3 李銘峯 許芳文 吳秉翰 蘇信嘉 曹宏熙 胡杰 1 國立嘉義大學光電暨固態電子研究所 2 國立嘉義大學應用物理學系 60004 嘉義市鹿寮里學府路 300 號 3 財團法人工業技術研究院南分院雷射應用科技中心 73445 台南縣六甲鄉工研路 8 號 摘 要 我們利用中心波長為 800 nm 、脈衝寬度為115 fs 、重複率為1 kHz 的摻鈦藍寶石飛秒雷射， 於玻片表面上進行微流道加工。我們依照不同的雷射功率、掃描速度、掃描次數等參數，觀察 其雷射加工光斑大小、熱影響區、加工深度與加工寬度之關係。根據實驗參數曲線趨勢與流道 截面觀察結果，我們在雷射加工功率為 65 mW 、掃描速度為0.8 mm/s ，於相同加工線段重複掃 描 7 次後，可成功製作出高深寬比（6.5 ：1）、流道管壁筆直且互為平行的結構，其流道表面 粗糙度可小於 1 μm 。此飛秒雷射微奈米加工技術可於日後應用於在玻片上製作微奈米等級元 件，如分散布拉格反射鏡、光子晶體元件、微流道生物晶片與高精密干涉式生物光學感測器等， 使其加工精密度與穩定性提高，並可簡化其製程步驟、縮短其製程時間。 關鍵詞：飛秒雷射，雷射加工光斑，熱影響區，微流道，高深寬比 Fabrication of High-Aspect-Ratio Microfluidic Channels on Glass Using Femtosecond Pulsed Laser Micro and Nano Machining Technology 1 1,2 3 3 3 3 MING-FENG LI , FANG-WEN SHEU , PING-HAN WU , HSIN-CHIA SU , HONG-SHI CAO and CHIEH HU 1Graduate Institute of Optoelectronics and Solid State Electronics, National Chiayi University 2Department of Applied Physics, National Chiayi University No. 300, Syuefu Rd., Chiayi, Taiwan 60004, R.O.C.