薄膜的结构特性研究-无机材料学报.PDF

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 匕 , 年 月 , 一 文章编号 一 一 二 一 薄膜 的结构特性研 究 张锡健 , 马 洪磊 , 王 卿璞 , 马 瑾 山 东大 学物 理 与微 电子 学院 , 济 南 摘 要 采用射频磁控溅射法在 衬底温度下制备 了 二 一 二 二 薄膜 , 用 射 线衍射 、 高分辨透射 电镜 、 喇曼 光谱和 原子力 显微镜 研 究 了薄膜 的结构特性 和 分析结果表 明 二 一 二 薄膜为单相六 角纤锌矿 结构 , 且具有沿 轴 的择优取 向, 晶格常数与 晶体 的近似相等 光谱不仅揭示 二 , 一 二 薄膜具有六 角纤锌矿结构 , 而且 也表 明 二 一 二 薄膜 的结 晶质量 比在相 同条 件下制备 的 薄膜好 图像则显示 出 二 一 二 薄膜为多晶结构 二 一 二 关 键 词 射频磁控溅射 , 结构特性 中图分类号 文献标识码 引言 近 几年来 , 由于 对 蓝 光 和 紫外光 等短 波 长 发光 器 件 的商业 需求 , 工