谐振式传感器的理关于及设计.pdf

摘 要 谐振式传感器是利用某种谐振子的固有频率随被测物理量的变化进行测量的一 类准数字式装置 它的主要技术关键在于利用正反馈原理 构成包括机械振子在内 的机电一体的高品质闭环谐振系统 本文主要对机械振子的谐振特性和机 电谐振 系统建模及其闭环稳定性等问题作了较为深入的讨论与研究 机械振子是谐振传感系统的核心部件 论文首先从谐振理论角度出发 在机电 相似变换的基础上 引入速度阻抗与导纳的概念以及电学的分析方法 对谐振子的 阻尼特性 动力特性 幅相关系和内部能量变换过程等问题进行了一般性描述 着 重对谐振子处于位移 速度和加速度三种谐振状态时的幅相特征作了对比分析 认 为以速度信号作为回授时所构成的闭环谐振系统具有最优的谐振特性 为了分析激 励电路和拾振电路对谐振子的影响 文中建立了谐振传感系统的等效电路模型 并 通过对系统的机电耦合分析 得出了以恒流源作为激励和高输入阻抗放大器作为拾 振的机电解耦设计原则 在系统谐振的必要条件基础上 本文运用准线性理论得到 了系统谐振稳定的充分条件 并提出了评价系统稳定性好坏的性能指标 最后 依 据前述所得的一些具有设计意义的结论 设计出一个谐振式传感系统 并给予其稳 定性验证 关键词 谐振式传感器 谐振特性 机电模拟 稳定性 I Abstract Resonant sensor system is a kind of quasi-digital measuring device utilizing the effect that the natural frequency of the resonator changes according to the measured frequency. Its major key technique is to constitute a high quality electromechanical close- loop resonant system with mechanical resonator using positive feedback principle. This thesis mainly discusses and studies the resonant characteristics of the mechanical resonance, modeling of the electromechanical resonant system and its close-loop stability in depth. Mechanical resonance is the core component of the resonant sensor system. Starting from resonant theory and based on electromechanical analogy, this thesis introduces the concepts of speed impedance and mobility as well as the electrical analyzing methods. It provides universal descriptions to the damping characteristics dynamic characteristics, phase-amplitude relation and internal energy conversion of the resonator. Then by comparing and analyzing the phase-amplitude characteristics of the resonator in resonant state of displacement, velocity and acceleration, it shows