第07章-AZO透明导电膜生产线.pdf

Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co., Ltd, Hunan, China AZO透明导电膜生产线产品说明 郭 爱 云 工艺总工(材料学硕士) E-mail: Thinkergrace@126.com Mobile 2009.7 湖南湘潭宏大真空设备有限公司Http:// Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co., Ltd, Hunan, China 透明导电膜市场种类： 1、氧化锡类SnO2 （掺锌氧化锡Zn:SnO2 、掺锑氧化锡Sb:SnO2和掺氟氧化 锡F:SnO2等）； 常在太阳能控制薄膜、太阳能电池、建筑玻璃和抗静电膜等膜层结构中作 功能膜层；这类透明导电膜通常采用热喷涂的方法制备，适合玻璃在线喷涂 沉积工艺。 2 、氧化锌类ZnO （掺镓氧化锌Ga:ZnO和掺铝氧化锌Al:ZnO等）； 常在太阳能控制薄膜、太阳能电池、汽车建筑玻璃、液晶平板显示和场致 发光平板显示以及加热防雾防霜透明膜中最功能膜层；此类透明导电膜通常 采用离线磁控溅射沉积的方法，适合大面积沉积工艺。 3 、氧化铟类In2O3 （掺锡氧化铟Sn:In2O3 (ITO)、掺锌氧化铟Zn:In2O3和掺 镁氧化铟Mg:In2O3； 常用于液晶平板显示、场致发光平板显示和其它面板显示领域；常用磁控 溅射工艺沉积，适合大面积沉积工艺。 Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co., Ltd, Hunan, China 说明：郭爱云 E-mail：thinkergrace@126.com Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co., Ltd, Hunan, China 透明导电膜应用分析： 目前在氧化铟锡透明导电膜玻璃（ITO Coating Glass ）、掺Al氧化锌透明 导电膜玻璃（AZO Coating Glass ）和掺F氧化锡透明导电膜玻璃（FTO Coating Glass ）三种透明导电膜中，掺F氧化锡透明导电膜玻璃（FTO Coating Glass ）通常采用在线生产的方式进行生产，所以其生产商大都为浮 法玻璃生产商，其生产线的投资巨大，并且具有很高的技术含量，不适合中 小型企业和非玻璃生产企业进行投资；氧化铟锡透明导电膜玻璃（ITO Coating Glass ）和掺Al氧化锌透明导电膜玻璃（AZO Coating Glass ）都可以 采用大面积磁控溅射的方式进行离线镀膜，并且由于氧化铟锡透明导电膜玻 璃（ITO Coating Glass ）是传统的平板液晶显示（FPD ）行业生产设备，国 内已经具有众多生产厂家，但是由于ITO导电膜不适合硅基非晶硅薄膜电池生 产工艺，限制了其在太阳能领域的应用；只有掺Al氧化锌透明导电膜玻璃 （AZO Coating Glass ）具有既满足透明导电的技术要求，同时又具有大面积 批量生产的价值，故目前掺Al氧化锌透明导电膜玻璃（AZO Coating Glass ） 生产线的建设已经进入了快速扩张时期。 Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co., Ltd, Hunan, China 说明：郭爱云 E-mail：thinkergrace@126.com Xiangtan Hongda Vacuum Equipment Co., Ltd, Hunan, China AZO透明导电膜生产线 连续磁控溅射镀AZO膜生产线整体结构说明 制造厂家：湖南湘潭宏大真空设备有限公司 生产型号：HD-ILS-2009-6 连续磁控溅射镀AZO膜生产线共设计有