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使用 Agilent 8900 ICP-MS/MS 测定超低含量的磷、硫、硅和氯 应用简报 半导体 作者 Kazumi Nakano, 安捷伦科技公司，日本 前言 在多种用于无机分析的仪器中，四极杆 ICP-MS (ICP-QMS) 是一种灵敏度极高且 应用范围极广的分析工具。灵敏度接近每秒 亿次计数 ， 10 /ppm (1 G cps/ppm) 背景信号通常小于 1 cps 。其最新型号对元素周期表中的大多数元素都能达到 ppq (ng/L) 级检测限 (DL) 。对于质量高于 80 amu 的元素，易于实现其最低检 测限；而由于多原子干扰造成的质谱重叠，一些质量较轻的元素处于痕量水平时 难以被测量到。 可以利用低温等离子体和碰撞 反应池等方法来解决这 ICP-QMS / 一背景干扰的问题，已在许多应用中取得了成功。 最近，串联四极杆 ICP-MS (ICP-MS/MS) 的问世显著提高了 表 1. Agilent 8900 ICP-MS/MS 运行参数 反应池方法的可靠性和性能，采用双质量过滤器 (MS/MS) 参数 单位 值 控制反应池中的化学反应。现在，分析人员能够通过可控 RF 功率 W 1500 的有效方式解决多种元素的干扰问题 [1] 。 取样深度 mm 8.0 载气流速 L/min 0.70 安捷伦推出第二代 ICP-MS/MS 仪器 Agilent 8900 串联四 尾吹气流速 L/min 0.52 提取透镜 1 V 4.0 极杆 ，进一步改进了 模式下的反应池运 ICP-MS MS/MS 提取透镜 2 V -210 行。本简报描述了采用 8900 ICP-MS/MS 对一些 ICP-MS Omega 透镜电压偏差 V -80 难以分析的元素：磷 、硫 、硅 和氯 的分 Omega 透镜 V 8.0 (P) (S) (Si) (Cl) 析性能。这些元素的第一电离势相对较高，这会降低电离 方法和反应