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显示技术进展 Progress in Display Technology LTPS制程与技术发展 liulin@ * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * *LTPS TFT-LCD之高载体移动度 (a)系统整合性 (b)高开口率 *世界各国主要生产LTPS TFT-LCD *LTPS TFT-LCD的技术发展蓝图 参考数据 :/translate/display/display0017.htm 低温多晶硅（Low Temperature Poly-silicon；LTPS，以下以LTPS代称）是LCD领域中的又一新技术。继现在的LCD主流非晶硅（Amorphous-Silicon，以下以a-Si代称）之后的下一代技术，但从目前的发展迹象看，并无明显大幅进展至LTPS的状况。这主要是a-Si技术经10多年的发展已经非常成熟，业界无论在量产技术和面板设计技术的掌握度上都游刃有余，短时间内LTPS技术仍无法达到。业界大部份的LCD厂商仍倾向把大笔投资投入a-Si生产在线，研究更大型基板生产线，强化生产效益。因此TFTLCD厂在选择新一代薄膜晶体管液晶显示器（TFTLCD）所使用的材料方面分为两派，一是采改良原有的非晶硅，另一是采新研发的低温多晶硅，各持论点，互不相让。大部分业界目前仍将LTPS定位在具策略性的应用领域上，尤其是有机EL崛起之后，此观点便更加浓厚。 参考数据 :/translate/display/display0017.htm 低温多晶硅技术简介低温多晶硅薄膜晶体管与非晶硅的工艺并无太大的差别，在工艺上稍加调整并增加一些设備，即可自非晶硅工艺转换成低温多晶硅工艺，成本也不会增加太多。此外，低温多晶硅薄膜晶体管可在玻璃基板上嵌入驱动组件，可大幅减少并保留驱动IC的空間，提升液晶显示面板的特性及可靠度，使面板的制造成本降低。因此其发展将使中小型尺寸的显示系统可以整合在玻璃基板上，尤其适合后PC时代信息家电的需求。低温多晶硅薄膜晶体管面板与目前所用的非晶硅薄膜晶体管面板相比，成本较为便宜，且具有更高的分辨率，这是因为电子在多晶硅的传输速度较快质量也较优良，因而可以使薄膜晶体管的尺寸更小，增加显示器的亮度并减少功率消耗。 在1999年以后，有机EL的兴起，使LTPS技术跟着水涨船高。有机EL固然在轻薄化、省电化和文字辨视上有利，但在高分辨率化上有相当程度的困难，若无法及时解决，将丧失在移动电话手机逐鹿的最佳机会。而LTPS所提供的TFT主动矩阵驱动以及驱动电路和TFT可同时整合制造，恰可维持轻薄化优势情形下并解决上述分辨率的问题。LTPS衍然变成横跨小尺寸LCD和有机EL的共同必要技术，可以使2.5寸的面板具备200ppi的高解析度。所以有机EL的发展需要低温多晶硅强化其驱动电路。 参考数据 :/translate/display/display0017.htm 目前主要业者介绍 日本：自1998年业界正式投入LTPSLCD的量产以来，至今真正从事大规模量产低温多晶硅LCD生产制造商主要集中在三大家，Sony(ST-LCD)、东芝和三洋。其他业者大多只是小规模量产或试产，并无立即积极转入量产的动作。据ElectronicJournal统计1999年LTPS的全球市场为633亿日圆，2000年约可成长至1000亿日圓，主要的三大领导业者排名和市场占有率应大致不变。LTPS最主要的市场在需要小型和高分辨率的应用市场上，约2~3.5寸，如数字相机和数字摄影机。近年来4寸等级产品逐渐出笼，估计2~4寸将是2000年后的市场主力。此外薄型Notebook也渐成为目标市场，在这一市场，东芝最为积極。认為TFTLCD市场将由低温多晶硅主导，而对目前低温多晶硅量产最大阻碍激光雷射（ExcimerLaser）设备的不稳定，也正与设备商共同寻找改善方法，积极促进低温多晶硅的量产。目前东芝的LTPS的产品线最为广泛，从PDA用的4寸VGA到11.3寸的XGANotebook，一应俱全。LTPS的下一个深具潜力的应用为需要高分辨率以显示字幕的8~10寸宽屏幕DVD随身视听设备。 参考数据 :/translate/display/display0017.htm 上述主要业者的产品策略各有不同，三洋和东芝不仅以LTPS技术在TFTLCD上大张旗鼓，也积极以此技术为主轴，跨入有机EL。三洋已在构筑有机EL的试产线，并已发表以LTPS为基础之2.4寸的有机EL和1.5寸反射／半透过型LCD，希望以此两产品，横扫未来的移动电话和摄影机小尺寸市场。东芝的LTPS产品策略和三洋略有不同，其在LCD的应用上并不集中在小尺寸上，毕竟东芝在携带