蒸镀-电子束蒸镀原理及透明导电膜沉积介绍.ppt

英文标题:20-30pt 字体 :Arial 中文标题:20-30pt 字体:黑体 首选颜色: R229 G89 B39 备选颜色: R128 G0 B0 R128 G64 B0 R51 G51 B51 英文正文:18-20pt 子目录 (2-5级) :18pt 字体 :Arial 中文正文:18-20pt 子目录(2-5级):16-20pt 字体:细黑体 首选颜色: :R119 G119 B119 备选颜色: R0 G0 B0 R128 G0 B0 R128 G64 B0 英文目录标题:20-40pt 字体 :Arial 中文目录标题:35-40pt 字体:黑体 首选颜色: R229 G89 B39 备选颜色: R128 G0 B0 R128 G64 B0 R51 G51 B51 英文目录正文:20-30pt 子目录 (2-5级) :20-30pt 字体 :Arial 中文目录正文:28-30pt 子目录(2-5级):18-30pt 字体:细黑体 首选颜色: :R119 G119 B119 备选颜色: R0 G0 B0 R128 G0 B0 R128 G64 B0 英文标题:30-40pt 副标题:26-30pt 字体颜色:R255 G255 B255 内部使用字体 :Arial 外部使用字体 : Arial 中文标题:20-40pt 字体:黑体 副标题:24-28pt 字体颜色:R255 G255 B255 字体:黑体 * 英文标题:20-30pt 字体 :Arial 中文标题:20-30pt 字体:黑体 首选颜色: R229 G89 B39 备选颜色: R128 G0 B0 R128 G64 B0 R51 G51 B51 英文正文:18-20pt 子目录 (2-5级) :18pt 字体 :Arial 中文正文:18-20pt 子目录(2-5级):16-20pt 字体:黑体 首选颜色: :R119 G119 B119 备选颜色: R0 G0 B0 R128 G0 B0 R128 G64 B0 英文目录标题:20-40pt 字体 :Arial 中文目录标题:35-40pt 字体:黑体 首选颜色: R229 G89 B39 备选颜色: R128 G0 B0 R128 G64 B0 R51 G51 B51 英文目录正文:20-30pt 子目录 (2-5级) :20-30pt 字体 :Arial 中文目录正文:28-30pt 子目录(2-5级):18-30pt 字体:黑体 首选颜色: :R119 G119 B119 备选颜色: R0 G0 B0 R128 G0 B0 R128 G64 B0 蒸镀电子束原理及ITO透明导电膜介绍 课题： 第一节：蒸发原理介绍 第二节：ITO透明导电膜介绍 电子束蒸发分类 按用途分：功能镀膜（导电膜，液晶薄膜，薄膜电容和切削刀具镀膜）、装饰镀膜（卫浴、五金、各类产品外壳）和包装镀膜（包装材料） 按设备类型分：电子束蒸镀机(EVAPROTATON)、溅镀机(Sputter)以及离子镀机(Ion plating)、乌舟镀膜机 按反应类型分：化学镀膜和物理镀膜 真空镀膜技术就是在真空环境下，通过化学、物理方式将反应物或者靶材沉积到基板上的薄膜气象沉积技术。 第一节：蒸发原理介绍 问题： 2、目前我公司使用的镀膜机台有哪些？ 1、镀膜用于在生活中哪些方面？ 电子束原理介绍： 利用高压电使钨丝线圈产生电子后，利用加速电极将电子引出，再透过磁偏转线圈，将电子束弯曲270o，引导打到坩埚内的金属源上，使其局部熔融。因在高真空下(4×10-6torr)金属源之熔点与沸点接近，容易使其蒸发，而产生金属的蒸气流，遇到芯片时即沉积在上面。在坩埚四周仍需有良好的冷却系统，将电子束产生的热量带走，避免坩埚过热融化，形成污染源。 电子束模拟图 离子源蒸镀原理 蒸发物质的分子被电子碰撞电离后以离子沉积在固体表面，称为离子源蒸镀；离子镀工艺综合了蒸发（高沉积速率）与溅射（良好的膜层附着力）,离子源蒸镀是真空电子束蒸发与离子源技术的结合。离子镀系统，将基片台作为阴极，外壳作阳极，充入惰性气体（如氩）以产生辉光放电。从蒸发源蒸发的分子通过等离子区时发生电离。 电子束蒸发和离子源实物图和模拟图 电阻加热蒸发原理介绍 电阻加热用难熔的金属如钨、钽制成舟箔或丝状,通以电流,加热在它上方或置于坩埚中的蒸发物质电阻加热源，主要用于蒸发Cd、Pb、Ag