mems微结构变形行为尺度效应的研究进展 progress of size effect of deformational behaviors of small dimensional structures in mems.pdfVIP
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mems微结构变形行为尺度效应的研究进展 progress of size effect of deformational behaviors of small dimensional structures in mems
and
2009年第28卷第7期 传感器与微系统(TransducerMicrosystemTechnologies)
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§综述与评论《;I
№一《p毋毋《s、t’
MEMS微结构变形行为尺度效应的研究进展半
苏继龙,庄哲峰,陈学永,徐洪烟
(福建农林大学机电工程学院,福建福州350002)
摘要:微米尺寸驱动结构广泛应用于微机电系统(MEMS)和集成电路等微/纳米系统中。由于这些微
米尺寸驱动结构的几何尺寸和其微结构尺寸均在微米至纳米范围,它们的弹性、塑性性能及其变形行为具
有明显的尺度效应。简要概述了近年来国内外有关微米尺寸驱动结构的弹性性能和变形特性尺度效应的
研究情况,介绍了高阶理论的发展和塑性应变理论与微极理论在尺度效应分析中的应用,并对MEMS今
后需要重点研究的方向进行了展望。
关键词:微机电系统;微米结构;形变;尺度效应
中图分类号:THll2 文献标识码:A 文章编号:1000-9787(2009)07-0001-04
of of
ofsizeeffectdeformationalbehaviors
Progress
smalldimensionalstructuresinMEjVl3MEMS木
SU
Ji·long,ZHUANGZhe—feng,CHENXue—yong,XUHong-yan
ofMechanics-Electrics and
(College AgricultureForestryUniversity,
Engineering,Fujian
Fuzhou
350002,China)
dimensionalstructuresare usedinMEMSand the
Abstract:Small widely micro/nano-systems.Sincegeometric
andmicrostructuraldimensionsofthestructuresare frommicronsto size of
nanometers,the
ranged dependence
is whenthemicrostructures’sizeto
effectiveelastic and behaviourmore
propertiesplastic pronounced approaches
of the
thecharacteristicofmatrixmaterial.Theeffectsmicrostructures’sizeonthe of microstruetures
length elasticity
anddeformationalbehaviorsarereviewed.111e of isintroducedandthe
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