mems微结构变形行为尺度效应的研究进展 progress of size effect of deformational behaviors of small dimensional structures in mems.pdfVIP

mems微结构变形行为尺度效应的研究进展 progress of size effect of deformational behaviors of small dimensional structures in mems.pdf

  1. 1、本文档共4页,可阅读全部内容。
  2. 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
  3. 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载
  4. 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
  5. 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
  6. 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们
  7. 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
  8. 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
mems微结构变形行为尺度效应的研究进展 progress of size effect of deformational behaviors of small dimensional structures in mems

and 2009年第28卷第7期 传感器与微系统(TransducerMicrosystemTechnologies) ?\pqpqpqpqpq §综述与评论《;I №一《p毋毋《s、t’ MEMS微结构变形行为尺度效应的研究进展半 苏继龙,庄哲峰,陈学永,徐洪烟 (福建农林大学机电工程学院,福建福州350002) 摘要:微米尺寸驱动结构广泛应用于微机电系统(MEMS)和集成电路等微/纳米系统中。由于这些微 米尺寸驱动结构的几何尺寸和其微结构尺寸均在微米至纳米范围,它们的弹性、塑性性能及其变形行为具 有明显的尺度效应。简要概述了近年来国内外有关微米尺寸驱动结构的弹性性能和变形特性尺度效应的 研究情况,介绍了高阶理论的发展和塑性应变理论与微极理论在尺度效应分析中的应用,并对MEMS今 后需要重点研究的方向进行了展望。 关键词:微机电系统;微米结构;形变;尺度效应 中图分类号:THll2 文献标识码:A 文章编号:1000-9787(2009)07-0001-04 of of ofsizeeffectdeformationalbehaviors Progress smalldimensionalstructuresinMEjVl3MEMS木 SU Ji·long,ZHUANGZhe—feng,CHENXue—yong,XUHong-yan ofMechanics-Electrics and (College AgricultureForestryUniversity, Engineering,Fujian Fuzhou 350002,China) dimensionalstructuresare usedinMEMSand the Abstract:Small widely micro/nano-systems.Sincegeometric andmicrostructuraldimensionsofthestructuresare frommicronsto size of nanometers,the ranged dependence is whenthemicrostructures’sizeto effectiveelastic and behaviourmore propertiesplastic pronounced approaches of the thecharacteristicofmatrixmaterial.Theeffectsmicrostructures’sizeonthe of microstruetures length elasticity anddeformationalbehaviorsarereviewed.111e of isintroducedandthe

您可能关注的文档

文档评论(0)

118zhuanqian + 关注
实名认证
文档贡献者

该用户很懒,什么也没介绍

1亿VIP精品文档

相关文档