传感器原理与应用课件 第15章 MEMS传感器.ppt

15.5 MEMS传感器的信号调理 本节将讨论与微传感器接口电路相关的一些信号调理电路，共分三部分，分别对应于三种常用的读出方式：压阻式、电容式和谐振式。 15.5.1 MEMS压阻式传感器的信号调理 1．温度补偿 材料的电阻的计算公式如下： 由应力引起的电阻变化为： 由于电阻率和压阻系数都和温度相关，温度降低，电阻率增加，因此，压阻式传感器必须进行温度补偿才能用。温度对单晶硅的电阻率影响尤其大，但是单晶应变片也有独特的优点，它在噪声和漂移方面表现出较好的性能。由多晶硅做成的应变片，它的电阻率增大可以通过适当选择掺杂水平降低晶粒边缘电阻率来补偿。 对于温度补偿来说，常用的方法是采用惠斯通电桥方法， 电桥输出为： 通常， ，输出电压值为零。当与被测对象相关的某一个电阻发生变化时，例如， 将各个电阻值代入式，电桥的输出电压为 输出电压与电阻的变化为 可见，输出电压与电阻的变化 近似成线性关系。当电阻变化大时，由于式中，分母中带有 ，因此电桥输出为非线性。为了改善非线性，可以采用电流源代替电压源。图是电流源代替电压源的一个例子。例中，采用两个电阻与被测对象相关的方案，即 及 ，运算放大器控制加在电桥输入端的电压，电桥电流为 ，则电桥输出电压为 比较可以看出，电路输出变为线性，而且灵敏度提高了2倍。 如果采用四个电阻与被测对象相关，如图所示，两个应变片电阻随被测对象增加，另外两个应变片电阻随被测对象减小，则电桥输出电压为 可见，与单臂电桥相比，灵敏度提高了4倍。 2．电桥输出电压的放大 电桥输出电压正比于电阻的相对变化，电阻的变化通常在0.01%～0.1%量级，所以电桥的输出电压很小，需要接放大电路。图是一种简单的差分放大电路，可用于此目的。此电路的特点是差分输入电压被放大，共模输入电压被抑制。 运算放大器的同相输入端（+）与反相输入端（-）电压 由于增益高，两个输入端的电压实际上被强制在相等的水平，即 ≈ ≈ 所以 由于差分输入电压 共模输入电压 得 当 时，输出电压与共模输入电压无关，只与差分输入电压有关，可简化为 可见，电压增益由决定，共模抑制的效果取决于电阻匹配的程度。但是图中的电路输入阻抗非常低，这将导致电桥输出的降低。所以给出另一种差分放大电路，常称为仪表放大器。 假定没有电流流入最前端的两个放大器输入端，则 通常 ，如果 ，则整个电路的输出为 3．抑制噪声和失调 由于MEMS压阻式传感器的电阻变化非常小，放大器所引入的噪声和失调电压很容易淹没传感器的信号，尤其是缓慢变化的失调电压很难与传感器的信号分离。采取的办法通常是：输入电压围绕一个载频fc被调制，调制后的交流信号被放大器放大后再被解调。图给出了一个例子。例中的输入电压的调制用一个开关表示，产生出一个幅度等于输入电压的方波，方波信号被放大后再通过一个乘法器解调，这样，可以将低频噪声和失调有效地滤除。 15.5.2 MEMS电容式传感器的信号调理 对MEMS电容式传感器的信号调理，通常采用两种方法。方法一，是将电容变化转变成频率变化。例如转变成正弦振荡、张弛振荡等。此种方法的优点是频率信号易于被数字电路接纳，而且可以实现长距离的无损传输。方法二，是电容连接到电桥中，测量其变化。这种方法较简单，因此要将传感器与信号调理电路集成到同一个芯片上时，常采用此法。 1．电容——频率变换 电容——频率变换电路的输出是频率，输入是电容，电容