第三章38超精密加工技术.ppt

3.8 超精密加工技术 华北电力大学机械工程系 花广如 3.8.1 概述 3.8.1 超精密加工技术内涵及范畴 超精密加工是指加工精度和表面质量达到极高程度的精密加工工艺，随着加工技术的不断发展，超精密加工的技术指标也是不断变化的。 目前，一般加工、·精密加工、超精密加工以及纳米加工可以划分如下： (1)一般加工。加工精度在10um左右、表面粗糙度值0.30~0.81um的加工技术，如车、铣、刨、磨、镗、铰等， (2)精密加工。加工精度10~0.1um，表面粗糙度值在0．3～0.03um的加工技术，如金刚车、金刚镗、研磨、珩磨、超精加工、砂带磨削、等。 (3)超精密加工。加工精度在0．1～0．01um，表面粗糙度值在0.03～0.051um的加工技术，如金刚石刀具超精密切削、超精密磨料加工、超精密特种加工和复合加工等。目前，超精密加工的精度正处在亚纳米级工艺，正在向纳米级工艺发展。 (4)纳米加工。加工精度高于1nm，表面粗糙度小于0.005um的加工技术，其加工方法大多已不是传统的机械加工方法，而是诸如原子分子单位加工等方法。 3.8.1.2 超精密加工技术所涉及的技术领域 超精密加工技术从加工技术范畴来说，其包括微细加工和超微细加工、精整和光整加工。 超精密加工技术所涉及的技术领域包含了以下几个方面； (1)加工技术即加工方法与加工机理，主要有超精密切削、超精密磨料加工、超精密特种加工及复合加工。 (2)材料技术即加工工具和被加工材料，如超精密加工刀具磨具材料、刀具磨具制备及刃磨技术。工件材料对超精密切削也有重要影响。 · (3)加工设备及其基础元部件，主要加工设备有超精密切削机床、各种研磨机、抛光机以及各种特种精密加工、复合加工设备，对于这些加工设备有高精度、高刚度、高稳定性、高度自动化的要求。 (4)测量及误差补偿技术，必须有相应精度级别的测量技术和装置，即超精密加工要求测量精度比加工精度高一个数量级。 美国LLL实验室于1983年7月研制成功DTM-3型大型超精密金刚石车床，用于加工激光核聚变用的各种金属反射镜、红外装置用零件、大型天体望远镜。采用严格的恒温控制、流体温度控制(20±0．0006)℃。 (5)工作环境 加工环境条件的极微小变化都可能影响加工精度，使超精密加工达不到预期目的，因此，超精密加工必须在超稳定的加工环境条件下进行，必须具备各种物理效应恒定的工作环境，如恒温室、净化间、防振和隔振地基等。 (6)工件的定位与夹紧。 3.8.1.3 超精密加工技术的国内外发展现状 国际上在超精密加工技术方面处于领先地位的国家有美国、英国和日本。这些国家的超精密加工技术不仅总体成套水平高,而且商品化的程度也非常高。在超精密加工机床的研制和生产方面,除美、英、日等国家外,德国、荷兰和中国台湾也比较先进。 我国从20世纪80年代初期开始研究超精密加工技术,主要的研究单位有北京机床研究所、中国航天精密机械研究所、哈尔滨工业大学、中国科学院长春光机所应用光学重点实验室等。北京机床研究所研制出了多种不同类型的超精密机床、部件和相关的高精度测试仪器。 我国超精密机床虽然近几年有了很大发展，但和发达国家相比还有很大差距，主要表现在超精密非球面车床还不能生产；机床的精度一般比国外要低一个等级；机床精度的保持时间大大低于国外；精密空气主轴、微位移机构、精密CNC 伺服系统，机床热变形和精密恒温控制、结构稳定性和防振隔振技术都亟待深入研究，因此精度要求高的精密和超精密机床，还不得不从国外进口。 3.8.2 超精密切削加工 超精密切削加工主要指金刚石刀具超精密车削，主要用于加工软金属材料，如铜、铝等非铁金属及其合金，以及光学玻璃、大理石和碳素纤维板等非金属材料，主要加工对象是精度要求很高的镜面零件。 3.8.3 超精密磨削和磨料加工 超精密磨削和磨料加工是利用细粒度的磨粒和微粉主要对黑色金属、硬脆材料等进行加工，可分为固结磨料和游离磨料两大类加工方式。其中固结磨料加工主要有： 超精密砂轮磨削和超硬材料微粉砂轮磨削 超精密带磨削 ELID磨削 双端面精密磨削 电泳磨削 3.8.3.1 超精密砂轮磨削技术 超精密磨削即是加工精度在0.1um以下、表面粗糙度0.025um以下的砂轮磨削方法，此时因磨粒去除切屑极薄，将承受很高的压力，其切削刃表面受到高温