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双频容性耦合等离子体物理特性的混合模拟
surfacea atthe
withmuch IhDshavea small
higherenergy．The significantpeak angle
mostionsstrikethe lessthan
surfacewiththe 3 ions
reglon，and process angle degrees．More
striketheelectrodewithasmall eitherthe ofLF
anglebyincreasing voltagesourc宅orthe
ofI-IFsource．Theand distributionsofthefastneutralsare
frequency energyangular
fast a
correlativewiththatofthe withthe neutralshavemuchlower
ions，the
ions．Compared
andthe effectbecomes theendwe a
more of
energy scaaering prominent．In providegroup
resultsfor andthewidthofthe the
experiment comparison．Theposition energypeaks，and
arein in the
energy
average agreementgeneral，andbychangingdischargeparameters，the
evolutionofthesimulationand isalmostthesame．
result
experiment
In one-dimensionmodelhasbeenusedto the
4，a CF4
Chapter hybrid study discharge，
whichis usedinthe shows CF4 hasa
frequently etchingprocess．Itthat，thedischargelarge
of the ofFismuch thanthe ofelectron．
ions，and
proportionnegative density larger density
Becausethe ionsare
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