等离子体技术及应用(综合篇).pdf

关于课程 1 课程讲授 必要的基础介绍； 建立基本物理图像，基本概念理解； 技术比较； 重要应用； 表述：文字、图表、公式 详略详：重要，不了解。略：（已掌握） 重复： 2 图书馆参考书 DC 多，rf、 微波少 理论多，技术少 旧知识多、新进展少 注意部分参考 3 ．考试 闭卷笔试：公平 重点：理解、了解 直博生 等离子体技术和应用（综） §1．关于技术的定义 ①技术（technology ）的原意木匠。 木匠能按照人们的需求与意图把木料加工、组合，制成物品。所以亚里斯多德称技术是制造的智慧。 ②技术的现代定义： 技术是指人类在利用、改造和保护自然的过程中通过创新所积累的经验、知识、技巧以及为某一目的共 同协作组成的工具和规则体系。 ③科学技术： 科学技术是不断发展着的概念，人们有各种广义个狭义的理解。在我国科技管理活动中，对科学技术 的理解通常采取广义的概念。 科学是关于自然、社会和思维的知识体系，其任务是认识 自然现象、探索自然规律，属于认识自然的 范畴。 技术一般是指人类改造自然和创造人工自然的方法、手段与活动的总称。 广义地讲，技术既包括生产实践经验和自然科学原理而发展成的各种工艺操作方法与技能，又包括相 应的生产工具和其他物质设备，以及生产的工艺过程或作业程序等。 附：关于技术创新的定义: 定义 1：生产要素的新组合 定义 2 ：技术的首次商业应用 §2．等离子体技术 包括两部分： （1）等离子体源的制造工具研究新源，新外围设备 优化、组合。 （2 ）等离子体源的应用工具应用新领域、新参数范围等。 等离子体源的制造技术所涉及的因素 激励能量 直流 交流 设备腔体加工 工频 材料、设计、加工工艺 音频 中频 射频 功率 VHF 发射天线？ UHF 匹配？ 微波 光路？ 燃烧(热) 模式？ 激光 干扰 X 射线 屏蔽 核辐射 抽气 粒子束 进气计量 真空泵类型，位置 进料控制 阀 类型 靶材制造 连结件结构，方式 等离子体源的应用技术 所利用的特性： 光、热、电、化学 作用区： a) 等离子体中合成气体、转化气体、合成细粉 b) 等离子体/固体表面—薄膜沉积、刻蚀、表面改性、消毒、灭菌、切割等 c) 等离子体/液体化学合成、消毒 d)等离子体多相作用 等离子体技术的社会作用 生产新能源 核聚变 优点： 太阳能利用（太阳能电池多晶硅、光电半导体薄膜） 提高生产加工过程的效率和效能 表现：（