蒸汽压力与超疏水纳米复合涂层对微电子器件可靠性的影响.pdfVIP

Research Advanced Materials—Article 蒸汽压力和超疏水纳米复合涂层对微电子器件 可靠性的影响 1,2 1 3 1 4,5 * Hsing-Wei Chu 樊学军 ，陈良彪 ，汪正平 ， ，张国旗 摘要：由于高蒸汽压力可能导致微电子器件在高温和高湿度环 由此可能降低器件的可靠性，并最终导致器件被破坏， 境中失效，蒸汽压力的描述和模拟对研究微电子器件的湿度可 如材料老化[1]、吸湿膨胀、界面弱化和分层[2–4]，以及 靠性至关重要。为了最大程度地减小湿度的影响，可以在器件 材料强度降低[5–7]。并且，在回流焊过程中，整个封装 外表面涂抹一层超疏水涂层，以防止水分渗入。但是，超疏水 器件必然暴露在220~270 °C 的极高温中。因此，器件中 涂层提高微电子器件可靠性的具体机制目前仍没有完全被理解。 的聚合材料所吸收的水分将经历一个相变过程，并产 本文首先介绍了微电子高分子材料蒸汽压力的现有的一些理论。 生极高的内部蒸汽压力。这样，由蒸汽压力和热应力 笔者还根据实验结果论述了超疏水涂层在防止水蒸气进入器件 形成的组合应力会作用在聚合材料上。一旦材料裂纹 方面的机制和有效性。本文重点讨论了两个理论模型：基于微 到达外表面，蒸汽突然释放，就会引起类似于爆米花 观力学的全场蒸汽压力模型和对流扩散模型。这两种方法都已 的损坏[3] 。 成功用于说明无涂层样本的实验结果。但是，当器件上涂有超 为了减少水分吸收和高蒸汽压力可能导致的损坏， 疏水纳米复合涂层时，笔者仍发现器件质量增加，其原因很可 可以在封装器件表面涂抹诸如采用纳米复合涂层技术的 能是水蒸气可以透过超疏水涂层渗入。这种现象导致人们对超 超疏水(SH)涂层[8–12]。设计超疏水表面的一般规则是： 疏水涂层的有效性产生怀疑。根据理论和实验结果，笔者认为 ①最大程度地减小表面能，②增大表面粗糙度。涂有超 需要提出一种新的理论来理解水蒸气如何渗透超疏水涂层。 疏水材料的表面通常拥有极好的疏水性能，其水接触角 ° ° 大于150 ，滞后角小于10 [8, 9, 13]。人们在很多天然材 关键词：蒸汽压力，湿度，半导体可靠性，微机电系统(MEMS)， 料(如荷叶)上都发现了类似表面[14]。这些表面通常具有 超疏水，纳米复合涂层 结合了微纳米粗糙度和低表面自由能的涂层[15]。虽然超 疏水涂层可能是一种低成本且高可靠的微电子器件封装涂 1 引言 层，但是仍有资料表明超疏水涂层也具有吸湿性[16]。这 种吸湿性的具体机制不能用目前的理论解释。 由于微电子器件的各种部件在世界各地生产和制造， 本文描述了预测聚合物内蒸汽压力的两种现有方法， 微电子材料(如聚合密封剂和芯片粘结薄膜)在运输和贮 以便将蒸汽压力与超疏水涂层的有效性联系起来。笔者 存过程中必然会一定程度地从周围潮湿环境中吸收水分， 还论述了超疏水表面的形成方法，然后论述了在各种环 1 Department of Mechanical Engineering, Lamar University, Beaumont, TX 77710, USA; 2 Sta